[實用新型]一種雙面鍍膜振鏡、可擴展式高速掃描振鏡組及顯微鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202120276986.0
• 申請日: 2021-01-29
• 公開（公告）號: CN214375562U
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇德恩醫(yī)學(xué)技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G02B21/00
• 代理公司: 重慶強大凱創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 50217
• 代理人: 隋金艷

本發(fā)明涉及顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種雙面鍍膜振鏡、可擴展式高速掃描振鏡組及顯微鏡，雙面鍍膜振鏡包括第一檢流計振鏡，第一檢流計振鏡的兩個表面為拋光面，兩個表面均覆蓋有鍍膜；可擴展式高速掃描振鏡組包括用于折射光束的透鏡、反射光束的反射鏡，還包括上述雙面鍍膜振鏡；雙面鍍膜振鏡用于在偏轉(zhuǎn)后，改變射在雙面鍍膜振鏡任意一面上的光束的路徑，使光束通過雙面鍍膜振鏡的次數(shù)大于兩次。采用本發(fā)明的技術(shù)方案能夠提高掃描速度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種雙面鍍膜振鏡、可擴展式高速掃描振鏡組及顯微鏡。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)掃描光學(xué)顯微鏡在對生物樣品成像時，如果需要改變物鏡的焦平面位置來獲得不同層的信號，通常采用上下移動物鏡的方法，而非上下移動生物樣品。因為某些生物樣品很脆弱，無法承受上下快速移動。本世紀初由英國牛津大學(xué)Tony Wilson等人開發(fā)了遠端掃描(Remote Focusing)技術(shù)，物鏡和樣品均不需要上下移動，而通過軸向移動一片反射鏡來改變另一個共軛焦平面的位置來實現(xiàn)樣品一側(cè)的成像焦平面的移動。由于反射鏡的重量與物鏡相比很輕，因此通過音圈(Voice Coil)等驅(qū)動器可以實現(xiàn)反射鏡的高速振動，從而實現(xiàn)樣品一側(cè)的成像焦平面的快速改變。

基于上述原理，現(xiàn)有的點掃描激光掃描顯微鏡的掃描頭分為快掃和慢掃兩類。快掃掃描頭通常是一個高速的共振掃描器負責(zé)X軸掃描和一個低速的檢流計振鏡負責(zé)Y軸掃描。目前世界上共振掃描器主要為以下三款產(chǎn)品：9.25mm光束直徑26度@4KHz，5mm光束直徑26度@8KHz，以及5mm光束直徑10度@12KHz；其中5mm光束直徑26度@8KHz的產(chǎn)品被激光掃描顯微鏡廠家所廣泛采用。使用上述產(chǎn)品的共振掃描器可以使顯微鏡成像達到512*512像素@30fps(雙向掃描)。而基于兩個低速檢流計振鏡的慢掃掃描頭能夠提供512*512像素@2fps(雙向掃描)。

受共振掃描器的光束直徑限制(8KHz5mm)，為了匹配新型低放大率顯微鏡物鏡(視場直徑大約1.6mm)的15mm左右的光束直徑需求，現(xiàn)有的點掃描激光掃描顯微鏡均采用了焦距比為1：4-1：5的掃描透鏡和套筒透鏡的組合光路實現(xiàn)上述光束直徑的變換匹配，同時也將共振掃描器和檢流計振鏡的接近30度光學(xué)掃描角度變換成顯微鏡物鏡的6度左右視場角。

為了實現(xiàn)超大視場成像(視場直徑大約5mm)，最常見的技術(shù)路線是維持現(xiàn)有的視場角，通過增大焦距來擴大視場。為了實現(xiàn)高數(shù)值孔徑(NA)，需要增大通過顯微鏡物鏡的光束直徑(到25-40mm)。而檢流計振鏡在掃描光路中的作用是快速移動共振掃描器產(chǎn)生的掃描線，但是，檢流計振鏡的振動速度存在上限，導(dǎo)致掃描速度存在瓶頸，超大視場顯微鏡的性能提升有限。

為此，需要一種能夠提高掃描速度的雙面鍍膜振鏡、可擴展式高速掃描振鏡組及顯微鏡。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種雙面鍍膜振鏡、可擴展式高速掃描振鏡組及顯微鏡，能夠提高掃描速度。

為了解決上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┤缦录夹g(shù)方案：

一種雙面鍍膜振鏡，包括第一檢流計振鏡，第一檢流計振鏡的兩個表面為拋光面，兩個表面均覆蓋有鍍膜。

基礎(chǔ)方案原理及有益效果如下：

對第一檢流計振鏡的兩個表面進行拋光和鍍膜得到雙面鍍膜振鏡，使雙面鍍膜振鏡的兩個表面都可以反射光束，可以讓光束多次通過雙面鍍膜振鏡，減小光束每一次的偏轉(zhuǎn)角度，光束所偏轉(zhuǎn)的角度最后累積成總偏轉(zhuǎn)角度進行輸出。由于雙面鍍膜振鏡，轉(zhuǎn)動角度小速度快，轉(zhuǎn)動角度大，速度慢，本方案減小了雙面鍍膜振鏡每次的轉(zhuǎn)動角度，因此雙面鍍膜振鏡在小角度下的偏轉(zhuǎn)速度大大提高，從而獲得了很高的掃描速度。

可擴展式高速掃描振鏡組，包括用于折射光束的透鏡、反射光束的反射鏡，還包括上述雙面鍍膜振鏡；雙面鍍膜振鏡用于在偏轉(zhuǎn)后，改變射在雙面鍍膜振鏡任意一面上的光束的路徑，使光束通過雙面鍍膜振鏡的次數(shù)大于兩次。