[實用新型]一種射頻傳輸裝置

有效

• 申請號: 202120274364.4
• 申請日: 2021-01-29
• 公開（公告）號: CN213936115U
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 宣城睿暉宣晟企業管理中心合伙企業（有限合伙）
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 秦廣成

本實用新型公開了一種射頻傳輸裝置，包括：平行間隔設置的多片電極板，多片電極板之間施加不同極性電壓，且電極板之間通過多個具有支撐部的定位柱連接，支撐部支撐在多片電極板之間；每片電極板上分別開設有膨脹縫，在膨脹縫處，多片電極板之間設置有絕緣支撐件。本實用新型平行間隔設置多片電極板，并利用多個具有支撐部的定位柱將多片電極板固定連接，從而實現對射頻信號的傳輸；在每片電極板上均開設膨脹縫，避免了由于頻繁使用電極板、或惡劣的工況，而導致電極板膨脹變形，造成電極板之間相互短路的狀況；在膨脹縫處設置絕緣支撐件，以防止膨脹縫在電場應力的作用下而發生形變，導致電極板相互接觸短路的現象，從而確保傳輸裝置的穩定性。

技術領域

本實用新型涉及射頻技術領域，具體涉及一種射頻傳輸裝置。

背景技術

條狀射頻主要是通過自身的陰極和陽極將射頻引入到反應腔室，起到射頻傳導作用，自身的陰極板和陽極板之間是絕緣的。然而，由于在高溫真空下，條狀射頻傳輸裝置由于頻繁使用高功率模式傳輸射頻，因此在熱膨脹的影響下，條狀射頻的電極板容易產生變形，當陰極板和陽極板的間距在1mm以內，將導致正負極之間短路，在射頻傳導過程中會出現打火，進而導致出現射頻反射功率過高而報警。

實用新型內容

因此，本實用新型要解決的技術問題在于克服現有技術中的射頻傳輸裝置的陰極板和陽極板容易出現短路的缺陷，從而提供一種射頻傳輸裝置。

為達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

本實用新型實施例提供一種射頻傳輸裝置，包括：多片電極板，每片電極板平行間隔設置，多片電極板之間施加不同極性電壓，多片電極板之間通過多個定位柱連接，定位柱上具有支撐部，支撐部在多片電極板之間；每片電極板上分別開設有膨脹縫，在膨脹縫處，多片電極板之間設置有絕緣支撐件。

在一實施例中，絕緣支撐件與相鄰的至少兩個定位柱上的支撐部為一體結構。

在一實施例中，絕緣支撐件為聚四氟乙烯板。

在一實施例中，支撐部為套設在定位柱上的環形結構。

在一實施例中，支撐部為聚四氟乙烯環。

在一實施例中，膨脹縫在每片電極板上的相同位置設置，且膨脹縫不完全穿透電極板。

在一實施例中，實用新型電極板設有開口槽，實用新型開口槽沿電極板的長度方向設置，且開口槽的一端貫穿電極板。

在一實施例中，電極板具有兩片，兩片電極板施加不同電極電壓。

在一實施例中，電極板具有三片，其中的兩片電極板施加第一電極電壓，另一片電極板施加第二電極電壓；施加第二電極電壓的電極板設置在施加第一電極電壓的兩片電極板之間，定位柱穿過施加第二電極電壓的電極板、且定位柱的兩端分別與兩片施加第一電極電壓的電極板連接。

在一實施例中，第一電極為陽極，同時第二電極為陰極；或者，第一電極為陰極，第二電極為陽極。

本實用新型技術方案，具有如下優點：

本實用新型提供的射頻傳輸裝置，平行間隔設置多片電極板，并利用多個具有支撐部的定位柱將多片電極板，從而實現對射頻信號的傳輸；在每片電極板上均開設膨脹縫，從而避免了由于頻繁使用電極板、或惡劣的工況，而導致電極板膨脹變形，造成電極板之間相互短路的狀況；在膨脹縫處設置絕緣支撐件，以防止膨脹縫在電場應力的作用下而發生形變，導致電極板相互接觸短路的現象，從而確保傳輸裝置的穩定性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。