[實用新型]一種壓強-質量法校準孔板流量系數的裝置

有效

• 申請號: 202120259107.3
• 申請日: 2021-01-29
• 公開（公告）號: CN213985317U
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 楊坤
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 馬倩

本實用新型公開了一種壓強?質量法校準孔板流量系數的裝置，裝置包括通過真空管路依次連接的供料容器、過渡容器、收料容器和真空泵組，所述供料容器與過渡容器之間的真空管路設置Ⅰ號壓強計，過渡容器和收料容器之間的真空管路設置控制閥門和Ⅱ號壓強計，待校準孔板設置于過渡容器和收料容器之間的真空管路內。本實用新型通過優化試驗手段、降低試驗要求，實現孔板校準；無需單獨對各個試驗點所收集的氣體稱重，減少試驗操作步驟及工作量，可以自由增加測試點以提高流量系數校準的準確度；孔板校準過程引入數據計算，降低了對系統硬件的要求。

技術領域

本實用新型屬于真空領域氣體流量控制裝置的流量系數測試標定領域，具體涉及一種壓強-質量法校準孔板流量系數的裝置。

背景技術

在真空系統中，通常需要在真空管道內穩定通入一定量的氣體，氣體流量的控制需要通過安裝一定孔徑的孔板來實現，并通過孔板流量公式計算一定時間內通過孔板的氣體流量。孔板流量公式是一個與孔板前壓強相關的線性函數表達式。確定該表達式的基本原理是通過試驗方式測定孔板多組壓強點對應流量的數據，再進行線性擬合，得出線性函數表達式的斜率和截距。常用的孔板流量公式測定方法有稱重法、壓強-體積法、利用已知孔板校準未知孔板法等。其中，稱重法是直接通過收集氣體重量和收集氣體時間確定孔板對應壓強所對應的流量；壓強-體積法是通過過渡容器的壓強下降量、下降時間及過渡容器體積，根據理想氣體狀態方程間接計算出孔板對應壓強所對應的流量。無論通過何種手段，目的就是測定孔板對應壓強所對應的流量，擬合出孔板的流量與壓強關系的函數關系式。

常規孔板流量系數校準過程中至少需要達到以下一種前提條件：多個收料容器(稱重法)、過渡容器體積標定(壓強體積法)、流量系數已知的孔板(串校法)等。

而且現有校準方法孔板流量系數校準整體周期較長，還可能存在收料時間長降低稱重偏差(稱重法)、需要通過標準容器進行體積標定(壓強體積法)或已知孔板需要先通過其它方法進行孔板標定(串校法)等問題。

實用新型內容

本實用新型是為了克服現有技術中存在的缺點而提出的，其目的是提供一種壓強-質量法校準孔板流量系數的裝置。

本實用新型是通過以下技術方案實現的：

一種壓強-質量法校準孔板流量系數的裝置，包括通過真空管路依次連接的供料容器、過渡容器、收料容器和真空泵組，所述供料容器與過渡容器之間的真空管路設置Ⅰ號壓強計，過渡容器和收料容器之間的真空管路設置控制閥門和Ⅱ號壓強計，待校準孔板設置于過渡容器和收料容器之間的真空管路內。

在上述技術方案中，所述控制閥門設置于靠近過渡容器的一端；所述待校準孔板設置于靠近收料容器的一端。

在上述技術方案中，所述Ⅱ號壓強計設置于控制閥門與待校準孔板之間，且靠近待校準孔板設置。

在上述技術方案中，所述供料容器出口處設置閥門。

在上述技術方案中，還包括為供料容器充壓的高壓氣瓶。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型提供了一種壓強-質量法校準真空系統中流量孔板流量系數的方法和裝置，通過優化試驗手段、降低試驗要求，以最少的硬件需求，實現孔板的流量系數校準；無需單獨對各個試驗點所收集的氣體稱重，減少試驗操作步驟及工作量，可以自由增加測試點以提高流量系數校準的準確度；孔板校準過程引入數據計算，降低了對系統硬件的要求。

附圖說明

圖1是本實用新型一種壓強-質量法校準孔板流量系數的裝置的結構示意圖。

其中：

1 供料容器

2 過渡容器

3 收料容器

4 真空泵組