[實用新型]氦氣壓縮機殼體的靜子機匣及其車加工工裝有效
| 申請號: | 202120226980.2 | 申請日: | 2021-01-27 |
| 公開(公告)號: | CN216065550U | 公開(公告)日: | 2022-03-18 |
| 發明(設計)人: | 瞿建強;王凱 | 申請(專利權)人: | 江陰市光科光電精密設備有限公司 |
| 主分類號: | B23B15/00 | 分類號: | B23B15/00 |
| 代理公司: | 無錫義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 王威欽 |
| 地址: | 214400 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氦氣 壓縮機 殼體 靜子機匣 及其 加工 工裝 | ||
本實用新型公開了一種氦氣壓縮機殼體的靜子機匣,包括呈上小下大筒狀的靜子機匣本體,靜子機匣本體的小尺寸端一體設有向外延伸的加強筋板。本實用新型還公開了一種氦氣壓縮機殼體的靜子機匣的車加工工裝,包括呈圓筒狀的工裝本體以及填充設置在工裝本體與靜子機匣本體外壁之間的石膏,石膏填充體的上端面與加強筋板下端面齊平。本實用新型能夠在氦氣壓縮機殼體的靜子機匣車加工前有效補強,有效避免車加工時的震刀,配合磨床加工后,能夠達到平面度公差、位置度公差等要達到1絲;尺寸公差要達到±0.01的要求。
技術領域
本實用新型涉及一種氦氣壓縮機殼體的靜子機匣及其車加工工裝。
背景技術
氦氣壓縮機是低溫泵系統或其他制冷單元的驅動單元,用于向低溫泵或其他制冷單元提供高純度氦氣;氦氣壓縮機主要應用于半導體前道制程設備的蒸發、濺射和離子注入的真空系統;對于氦氣壓縮機其Ⅰ級靜子機匣基本上呈一個上小下大的筒狀,而其壁厚較薄,僅為3mm,這樣在車加工時容易震刀,難以達到平面度公差、位置度公差等要達到1絲;尺寸公差要達到±0.01的要求。
實用新型內容
本實用新型的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種氦氣壓縮機殼體的靜子機匣,能夠在氦氣壓縮機殼體的靜子機匣車加工前有效補強,有效避免車加工時的震刀,配合磨床加工后,能夠達到達到平面度公差、位置度公差等要達到1絲;尺寸公差要達到±0.01的要求。
為實現上述目的,本實用新型的技術方案是設計一種氦氣壓縮機殼體的靜子機匣,包括呈上小下大筒狀的靜子機匣本體,靜子機匣本體的小尺寸端一體設有向外延伸的加強筋板。由于靜子機匣本體其壁厚較薄,僅為3mm,因此在靜子機匣本體頂端外緣延伸一體設置呈折板狀的加強筋板可以對本實用新型有效補強,避免車加工時出現變形等缺陷。
進一步的技術方案是,加強筋板設有六個,沿筒狀靜子機匣本體的旋轉軸線為中心環形陣列布置。
進一步的技術方案是,靜子機匣本體的內側壁設有石墨鎳層。在靜子機匣本體的內側壁鍍有石墨鎳層,石墨鎳層不僅可作為一種改善的導電材料,還可以作為耐蝕、耐磨涂層、熱障和封嚴涂層、微波吸收材料等,通過氣相沉積制備的包覆鎳石墨粉末還可用于電池工業。
進一步的技術方案為,石墨鎳層的厚度為2mm。靠近靜子機匣本體小尺寸端處的石墨鎳層的厚度與靠近靜子機匣本體大尺寸端處的石墨鎳層的厚度一樣,一次加工到臺階深3mm,然后涂抹后,車加工到2mm,這樣能保證本體與鍍層的平滑過渡。
進一步的技術方案為,靜子機匣本體小尺寸端的外徑為160mm、內徑為100mm,小尺寸端的端面上設有十二個均布的直徑為8.5mm的安裝孔;所述靜子機匣本體大尺寸端的外徑為356mm、內徑為301mm,大尺寸端的端面上設有二十四個均布的直徑為13mm的安裝孔。
本實用新型還提供的技術方案為,用于氦氣壓縮機殼體的靜子機匣的車加工工裝,包括呈圓筒狀的工裝本體以及填充設置在工裝本體與靜子機匣本體外壁之間的石膏,石膏填充體的上端面與加強筋板下端面齊平。在圓筒狀的工裝本體的端面設有與靜子機匣本體小尺寸端上安裝孔適配的螺紋安裝孔,將兩者固定連接后在工裝本體與靜子機匣本體外壁之間填充石膏,石膏填充體的上端面以靜子機匣本體加強筋板下端為基準面,填充完畢后夾緊工裝本體即可進行車加工,有效避免震刀,后續再通過磨床加工磨床由于采用磁力吸住的方式,因此設置的磨床加工工裝較為簡便,自靜子機匣本體下方通過螺栓固定連接一塊鐵質餅狀體,然后磨床吸住鐵質餅狀體然后進行磨加工即可可以達到所要的尺寸公差及平面度公差等要求。
本實用新型的優點和有益效果在于:由于靜子機匣本體其壁厚較薄,僅為3mm,因此在靜子機匣本體頂端外緣延伸一體設置呈折板狀的加強筋板可以對本實用新型有效補強,避免車加工時出現變形等缺陷。能夠在氦氣壓縮機殼體的靜子機匣車加工前有效補強,有效避免車加工時的震刀,配合磨床加工后,能夠達到達到平面度公差、位置度公差等要達到1絲;尺寸公差要達到±0.01的要求。
附圖說明
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