[實用新型]硅片輸送裝置

有效

• 申請號: 202120221365.2
• 申請日: 2021-01-26
• 公開（公告）號: CN215046937U
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 李文;黃莉莉;李昶;徐飛
• 申請（專利權）人: 無錫奧特維科技股份有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 無錫永樂唯勤專利代理事務所(普通合伙) 32369
• 代理人: 章陸一;孫際德

1.一種硅片輸送裝置，其特征在于，所述硅片輸送裝置包括兩條平行布置的輸送帶、轉動部、驅動部、承載部及輸送帶張緊機構；其中：

兩條所述輸送帶均采用彈性皮帶，并且均安裝在所述轉動部上；

所述轉動部安裝在所述承載部上，所述承載部用于承載整個裝置；

所述驅動部安裝在所述承載部上，并且與所述轉動部相連；

所述輸送帶張緊機構為兩個，分別安裝在所述承載部上，并且分別與兩條所述輸送帶中的一條相連；每個所述輸送帶張緊機構獨立調節相對應的所述輸送帶；

所述驅動部驅動所述轉動部轉動，所述轉動部帶動兩條所述輸送帶運轉。

2.根據權利要求1所述的硅片輸送裝置，其特征在于，每個所述輸送帶張緊機構包括第一張緊輪、調節部及支撐部；其中：

所述支撐部用于支撐整個機構；

所述調節部可移動地安裝在所述支撐部上；

所述第一張緊輪可轉動地安裝在所述調節部上，當所述調節部帶動所述第一張緊輪移動時，所述第一張緊輪用于使所述輸送帶張緊。

3.根據權利要求2所述的硅片輸送裝置，其特征在于，所述支撐部包括開有滑槽的支撐板，所述調節部包括調節塊及調節螺桿；所述調節塊滑動配合在所述滑槽內，所述調節螺桿安裝在所述支撐板與所述調節塊之間；旋轉所述調節螺桿時，所述調節螺桿帶動所述調節塊沿著所述滑槽滑動。

4.根據權利要求3所述的硅片輸送裝置，其特征在于，所述輸送帶張緊機構還包括定位部，所述定位部安裝在所述支撐部與所述調節部之間，用于使所述調節部相對于所述支撐部固定。

5.根據權利要求4所述的硅片輸送裝置，其特征在于，所述定位部包括定位孔、定位槽及定位件；所述定位孔開設在所述支撐板與所述調節塊兩者之中的一件上，所述定位槽開設在所述支撐板與所述調節塊兩者之中的另一件上，所述定位件安裝在所述定位孔與所述定位槽之中，使所述調節塊與所述支撐板相對固定。

6.根據權利要求2所述的硅片輸送裝置，其特征在于，所述輸送帶張緊機構還包括過渡輪，所述過渡輪安裝在所述支撐部上，所述過渡輪使經過所述第一張緊輪的所述輸送帶改變方向。

7.根據權利要求1所述的硅片輸送裝置，其特征在于，所述轉動部包括主動部及從動部，

所述主動部包括一個主動軸及兩個主動輪，兩個所述主動輪安裝在所述主動軸上；

所述從動部包括一個從動軸及兩個從動輪，兩個所述從動輪安裝在所述從動軸上；

每條所述輸送帶分別安裝在一個所述主動輪及與該主動輪相對應的一個所述從動輪上。

8.根據權利要求7所述的硅片輸送裝置，其特征在于，兩個所述輸送帶張緊機構對稱安裝在所述從動部的兩側。

9.根據權利要求7所述的硅片輸送裝置，其特征在于，所述硅片輸送裝置還包括張緊部，所述張緊部安裝在所述主動部和/或所述從動部，每個所述張緊部包括一個張緊軸及兩個第二張緊輪，兩個所述第二張緊輪安裝在所述張緊軸上；每個所述第二張緊輪與一條所述輸送帶相接觸。

10.根據權利要求1所述的硅片輸送裝置，其特征在于，所述硅片輸送裝置還包括傳感裝置，所述傳感裝置安裝在兩條所述輸送帶的進料端，用于檢測是否有硅片被放置于所述輸送帶上。