[實用新型]一種真空紫外光源調節支撐架

有效

• 申請號: 202120221280.4
• 申請日: 2021-01-27
• 公開（公告）號: CN214618615U
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: 趙子淳;鄒潔;王艷會;葉雨城;鹿建
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04;F16M11/12;F16M11/18;F16M11/22;F16M7/00
• 代理公司: 上海國瓴律師事務所 31363
• 代理人: 傅耀

1.一種真空紫外光源調節支撐架，其特征在于：包括底部支撐、水平調節板、光路方向調節板、垂直調節板、水平軸和垂直軸；其中，所述底部支撐與所述水平調節板相連接，所述底部支撐與所述水平調節板之間安裝有水平移動導軌、凸輪軸承隨動器和水平軸固定件，所述水平移動導軌數量為2，其中一側所述水平移動導軌設置有水平板連接件，所述水平板連接件通過所述水平軸固定件和所述水平軸固定連接在所述底部支撐上，水平限位桿設置在所述水平調節板兩側，所述凸輪軸承傳動器和滑動輪設置在所述水平調節板和所述水平移動導軌之間；

所述光路方向調節板與所述水平調節板相連接，絲桿導軌滑塊設置于所述光路方向調節板和所述水平調節板之間，光路方向限位桿設置在所述光路方向調節板的一端，所述光路方向限位桿與所述水平板連接件相連接；所述垂直調節板通過所述垂直軸與所述光路方向調節板連接，垂直連接件和垂直軸固定件設置在所述垂直調節板和所述光路方向調節板之間，垂直調節桿設置于所述垂直調節板上。

2.根據權利要求1所述的一種真空紫外光源調節支撐架，其特征在于：所述水平軸固定件和所述垂直軸固定件安裝有軸套。

3.根據權利要求1所述的一種真空紫外光源調節支撐架，其特征在于：所述水平移動導軌和所述凸輪軸承傳動器設置不同的安裝角度。

4.根據權利要求1所述的一種真空紫外光源調節支撐架，其特征在于：所述水平限位調節桿的調整角度范圍為±1°。

5.根據權利要求1所述的一種真空紫外光源調節支撐架，其特征在于：所述絲桿導軌滑塊的滑動距離范圍為0～240mm。

6.根據權利要求1所述的一種真空紫外光源調節支撐架，其特征在于：所述垂直調節桿的角度調整范圍為±1°。

7.根據權利要求1～6任一所述的一種真空紫外光源調節支撐架，其特征在于：還包括固定件，所述固定件設置于所述底部支撐和所述水平調節板之間以及所述光路方向調節板和所述垂直調節板之間。