[實用新型]一種光學成像裝置及光學成像設備

有效

• 申請號: 202120214456.3
• 申請日: 2021-01-26
• 公開（公告）號: CN212722577U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 耿繼新;洪志坤;鐘凡;鄭增強;歐昌東
• 申請（專利權）人: 武漢精立電子技術有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/95
• 代理公司: 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 張凱

本實用新型涉及一種光學成像裝置及光學成像設備，用于對物面進行成像，其包括：殼體；鏡頭，其安裝于所述殼體的前端；用于成像的光電傳感器，其安裝于所述殼體內，且位于所述鏡頭的一側；分束器，其位于所述鏡頭的后方，所述分束器用于使所述物面反射的光波照射至所述光電傳感器；光源或光譜探測器擇一的安裝于所述分束器的一側，所述光源用于發出光波并經過所述分束器照射至所述物面，所述光譜探測器用于接收所述物面反射至所述分束器上的部分光波。本實用新型涉及的一種光學成像裝置及光學成像設備，既能實現大放大倍率顯微成像，又能實現光譜探測，操作便捷，對位誤差小，且可以改善物面的光照強度，使得成像較為清晰，提升節拍。

技術領域

本實用新型涉及顯微成像技術領域，特別涉及一種光學成像裝置及光學成像設備。

背景技術

隨著顯示行業的發展，尤其是Mini/Micro LED（發光二極管）技術的日趨成熟，大放大倍率顯微成像及光譜探測是應用于Mini/Micro LED的缺陷檢測及顯示特性檢測的常用手段。

相關技術中，大放大倍率顯微成像與光譜探測是不同的光學路徑，一般在不同的裝置上進行，在對物面進行大放大倍率顯微成像與光譜探測時，需要分步使用不同的裝置進行測量，不夠便捷，且物面在多個裝置之間移動，每次都需要進行重新對位，存在對位誤差大等缺陷；同時，當前應用場景，大放大倍率顯微成像常受工作距的影響，物面較暗，高倍率情況受較暗光線的影響，使得成像不清晰，影響成像質量，且在光線較暗的情況下，需要大量的時間進行成像調整，使得成像時間較長。

因此，有必要設計一種新的光學成像裝置及光學成像設備，以克服上述問題。

實用新型內容

本實用新型實施例提供一種光學成像裝置及光學成像設備，以解決相關技術中在對物面進行大放大倍率顯微成像與光譜探測時，需要分步使用不同的裝置進行測量，不夠便捷，且對位誤差大，同時，大放大倍率顯微成像不清晰、成像時間長的問題。

第一方面，提供了一種光學成像裝置，用于對物面進行成像，其包括：殼體；鏡頭，其安裝于所述殼體的前端；用于成像的光電傳感器，其安裝于所述殼體內，且位于所述鏡頭的一側；分束器，其位于所述鏡頭的后方，所述分束器用于使所述物面反射的光波照射至所述光電傳感器；光源或光譜探測器擇一的安裝于所述分束器的一側，所述光源用于發出光波并經過所述分束器照射至所述物面，所述光譜探測器用于接收所述物面反射至所述分束器上的部分光波。

一些實施例中，所述分束器傾斜設置于所述殼體內，且所述分束器前反射面的法線與所述鏡頭的中心光線之間具有第一夾角，所述分束器前反射面的法線與所述光源光波發射面的法線之間具有第二夾角，所述第二夾角與所述第一夾角相等。

一些實施例中，所述分束器傾斜設置于所述殼體內，且所述分束器前反射面的法線與所述鏡頭的中心光線之間具有第一夾角，所述分束器前反射面的法線與所述光譜探測器光波接收面的法線之間具有第三夾角，所述第三夾角與所述第一夾角相等。

一些實施例中，所述殼體具有等距平面，所述等距平面與所述光電傳感器感光面關于所述物面或者所述分束器前反射面共軛，且所述等距平面對應所述分束器設有開口；所述光源或所述光譜探測器擇一的安裝于所述等距平面，且當所述光源安裝于所述等距平面時，所述光源發出的光波通過所述開口照射至所述分束器；當所述光譜探測器安裝于所述等距平面時，所述分束器上的部分光波通過所述開口照射至所述光譜探測器。

一些實施例中，所述光源的光波發射面與所述光電傳感器的感光面關于所述物面共軛。

一些實施例中，所述光譜探測器的光波接收面與所述光電傳感器的感光面關于所述分束器的前反射面共軛。

一些實施例中，所述光源的光波發出面安裝有用于限制光波擴散角的光學元器件。

一些實施例中，所述光學元器件為光纖面板或者可控制光的漫反射角的擴散片。