[實用新型]一種磁力濺射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202120135652.1
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN215328336U
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何平;徐典;江紅霞
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇金秋繩帶科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種磁力濺射裝置，包括磁力濺射箱體(1)，其特征在于，所述磁力濺射箱體(1)頂面的四個拐角處固定焊接有支撐桿(2)，所述支撐桿(2)的頂端固定焊接有盒體(3)，所述盒體(3)的底部固定連通有管道(4)，所述管道(4)與磁力濺射箱體(1)內(nèi)的濺射承片臺數(shù)量相同且管道(4)與濺射承片臺連通設(shè)置，所述管道(4)上匹配設(shè)置有閥門(5)，所述管道(4)的外部設(shè)置有防堵塞機構(gòu)，所述防堵塞機構(gòu)包括固定安裝在磁力濺射箱體(1)頂面的電機(6)，所述電機(6)的輸出端固定連接有連接桿(7)，所述連接桿(7)遠離電機(6)輸出端的一端固定連接有限位圓柱(8)，所述限位圓柱(8)和電機(6)分別在連接桿(7)的兩個不同側(cè)面，所述限位圓柱(8)所經(jīng)過的路徑呈環(huán)狀，所述磁力濺射箱體(1)的頂面固定連接有兩個豎桿(9)，所述豎桿(9)的頂端固定連接有工字型卡塊(10)，兩個所述工字型卡塊(10)內(nèi)滑動設(shè)置有長條方框(11)，所述長條方框(11)的其中一側(cè)外壁上固定連接有限位框(12)，所述限位圓柱(8)位于限位框(12)的內(nèi)部，所述長條方框(11)的另一側(cè)外壁上固定連接有與管道(4)一一對應(yīng)的彈性薄板(20)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁力濺射裝置，其特征在于，所述盒體(3)內(nèi)設(shè)置有靶材平鋪裝置，所述靶材平鋪裝置包括固定焊接在盒體(3)內(nèi)壁上的卡塊(13)，所述卡塊(13)內(nèi)滑動設(shè)置有水平框架(14)，所述水平框架(14)的一側(cè)頂部與長條方框(11)之間固定連接有連動桿(15)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁力濺射裝置，其特征在于，所述卡塊(13)呈凹字型結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁力濺射裝置，其特征在于，所述水平框架(14)包括橫桿(16)和縱桿(17)，所述橫桿(16)的數(shù)量為兩個且縱桿(17)垂直固定焊接在兩個橫桿(16)之間，所述縱桿(17)的頂面固定粘連有多個等距分布的豎板(21)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁力濺射裝置，其特征在于，所述管道(4)在盒體(3)內(nèi)的進口處開設(shè)有擴口槽(18)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁力濺射裝置，其特征在于，所述盒體(3)的底部開設(shè)有排污口(19)，所述排污口(19)內(nèi)匹配設(shè)置有密封塞。