[實用新型]一種晶錠的打磨處理裝置

有效

• 申請號: 202120103705.1
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN214186583U
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 李帥;黃長航;趙建國;李函朔
• 申請（專利權）人: 山東天岳先進科技股份有限公司
• 主分類號: B24B19/22
• 分類號: B24B19/22;B24B41/06;B24B41/02;B24B27/00
• 代理公司: 北京君慧知識產權代理事務所(普通合伙) 11716
• 代理人: 馮妙娜

本實用新型提供了一種晶錠的打磨處理裝置，該裝置包括放置平臺，放置平臺用于放置晶錠；第一固定組件，第一固定組件設置于放置平臺上方，第一固定組件能夠接觸晶錠的上表面并對晶錠固定；打磨轉軸，打磨轉軸設置于放置平臺上方，打磨轉軸能夠旋轉，打磨轉軸的內壁設置有打磨面，打磨面能夠與晶錠的側面接觸，以對晶錠的側面進行打磨。通過設置第一固定組件和打磨轉軸，第一固定組件對晶錠進行固定，打磨轉軸的打磨面對晶錠側面進行打磨處理；該打磨處理增加了晶錠側面的可視化程度，提高了晶錠初篩的準確度。

技術領域

本實用新型涉及一種晶錠的打磨處理裝置，屬于半導體材料加工處理設備的技術領域。

背景技術

晶錠在制備完成后，需要經過后續的加工、質量檢測等步驟，檢測質量合格后的產品才能進一步應用。由于在加工時，需要對晶錠進行切片，不僅工作量大；且后續如果質量檢測不合格的殘次品，由于已經切片，限制了殘次品的整體利用。

晶錠在開爐后可進行人為判斷，進行初步篩選，去除明顯不合格的產品，可減少后續的加工、質量檢測的工作量。但是對于晶錠，尤其是晶錠的側面表現為可視性較低，人為判斷較為困難，同時易出現判斷錯誤，這樣對于晶錠的初步篩選極易出現誤差，誤差的出現會導致后續的粗加工及細加工的工作強度加大，工作效率降低。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種晶錠的打磨處理裝置，通過設置第一固定組件和打磨轉軸，第一固定組件對晶錠進行固定，打磨轉軸的打磨面對晶錠側面進行打磨處理；該打磨處理增加了晶錠側面的可視化程度，提高了晶錠初篩的準確度。

本申請采用的技術方案如下：

本申請提供了一種一種晶錠的打磨處理裝置，其特征在于，所述裝置包括：

放置平臺，所述放置平臺用于放置晶錠；

第一固定組件，所述第一固定組件設置于所述放置平臺上方，所述第一固定組件能夠接觸所述晶錠的上表面并對所述晶錠固定；

打磨轉軸，所述打磨轉軸設置于所述放置平臺上方，所述打磨轉軸能夠旋轉，所述打磨轉軸的內壁設置有打磨面，所述打磨面能夠與晶錠的側面接觸，以對所述晶錠的側面進行打磨。

優選的，所述打磨轉軸的內壁設置為多個凹凸點組成的細糙面，所述細糙面形成所述打磨面；

所述凹凸點的直徑為1～100nm。

優選的，所述打磨轉軸的內壁粘貼有砂紙，所述砂紙形成所述打磨面。

優選的，所述打磨轉軸的內徑與所述晶錠的外徑相等。

優選的，所述第一固定組件包括第一伸縮桿和固定塊，所述固定塊固定在第一伸縮桿的底端，所述固定塊接觸所述晶錠的上表面并對所述晶錠固定；

所述打磨轉軸與所述第一伸縮桿連接。

優選的，所述打磨轉軸的底端可拆卸安裝打磨板，所述打磨板用于對晶錠的籽晶面進行打磨。

優選的，所述放置平臺的側邊設置第二固定組件，所述第二固定組件包括第二伸縮桿和夾緊結構，所述夾緊結構設置在第二伸縮桿的頂端，所述夾緊結構用于對晶錠的側面進行固定。

優選的，所述夾緊結構為圓環結構，所述圓環結構設置有充氣口，所述圓環結構充氣后用于對晶錠的側面四周進行固定。

優選的，所述裝置還包括第三伸縮桿，所述第三伸縮桿的底端安裝有切割結構，所述切割結構用于對所述晶錠的凸面進行切割。

優選的，所述放置平臺的底端通過滑塊與滑軌連接。

本實用新型的有益效果包括但不限于：