[實用新型]升降承載機構件

有效

• 申請號: 202120079363.4
• 申請日: 2021-01-11
• 公開（公告）號: CN214300334U
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 刁成偉
• 申請（專利權）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 李國祥

1.一種升降承載機構件，其特征在于，包括：

載物盤，所述載物盤的一側用于承載基板；

限位件，設置于與所述載物盤承載所述基板一側相對的另一側；

升降針，穿設于所述限位件和所述載物盤，所述升降針相對于所述載物盤和所述限位件可升降；

升降盤，設置于所述限位件背向所述載物盤一側，所述升降針一端抵靠所述升降盤，所述升降盤相對于所述載物盤可升降從而帶動所述升降針相對于所述載物盤上下移動。

2.根據權利要求1所述的升降承載機構件，其特征在于，所述限位件包括本體以及限位部，所述本體具有過孔，所述限位部連接于所述本體且所述限位部至少部分位于所述過孔內，所述升降針穿設于所述過孔并且與所述限位部抵靠。

3.根據權利要求2所述的升降承載機構件，其特征在于，所述限位件包括多個所述限位部，所述限位部環繞所述過孔的軸線均勻分布。

4.根據權利要求2所述的升降承載機構件，其特征在于，所述限位部滾動連接于所述本體，所述升降針穿設于所述過孔并且與所述限位部滾動接觸。

5.根據權利要求4所述的升降承載機構件，其特征在于，所述本體具有與所述過孔相連通的容納孔，所述限位部的一部分容納于所述容納孔，所述限位部的另一部分位于所述過孔內。

6.根據權利要求5所述的升降承載機構件，其特征在于，所述限位件還包括推頂部件，所述推頂部件連接于所述本體，所述推頂部件與所述限位部連接，所述推頂部件能夠推動所述限位部在所述容納孔內移動。

7.根據權利要求6所述的升降承載機構件，其特征在于，所述本體包括相互套設的外筒和內筒，所述內筒具有所述過孔和所述容納孔，所述推頂部件可移動連接于所述外筒，所述推頂部件靠近所述限位部的一端具有容納部，所述限位部滾動連接于所述容納部。

8.根據權利要求7所述的升降承載機構件，其特征在于，所述限位部為球體。

9.根據權利要求1至8任一項所述的升降承載機構件，其特征在于，所述升降承載機構件還包括滾動部件，所述滾動部件滾動連接于所述升降盤，所述升降針上靠近所述升降盤的端部與所述滾動部件滾動接觸。

10.根據權利要求9所述的升降承載機構件，其特征在于，所述升降針的端面為平面，所述端面在所述升降盤上的正投影面積大于所述滾動部件在所述升降盤上的正投影面積。

11.根據權利要求9所述的升降承載機構件，其特征在于，所述升降盤包括下盤體和上盤體，所述上盤體和所述下盤體夾持所述滾動部件。

12.根據權利要求11所述的升降承載機構件，其特征在于，所述滾動部件的一部分凸出所述上盤體。

13.根據權利要求12所述的升降承載機構件，其特征在于，所述滾動部件為球體。