[實用新型]一種多模式數字全息顯微定量相位測量裝置

有效

• 申請號: 202120058374.4
• 申請日: 2021-01-11
• 公開（公告）號: CN213748793U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 鄧定南;郭少強;賀智忠;呂才良
• 申請（專利權）人: 嘉應學院
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02;G03H1/00
• 代理公司: 廣州海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為;冼俊鵬

本實用新型公開了一種多模式數字全息顯微定量相位測量裝置，涉及全息測量裝置，針對現有技術中測量裝置功能單一的問題提出本方案。第一光源分別射入第一分束模塊及第二分束模塊，第二光源射入第一分束模塊，然后共路至第二分束模塊及第三分束模塊；最后被相機捕獲光信息。第二分束模塊其中一路輸入前置顯微物鏡和物鏡轉盤。優點在于，穩定性高，且去除了二次相位畸變。可以實現單波長下透射型和反射型樣品、雙波長下反射型樣品的測量和分析。

技術領域

本實用新型涉及全息測量裝置，尤其涉及一種多模式數字全息顯微定量相位測量裝置。

背景技術

隨著數字全息顯微技術理論的不斷完善，實際應用領域中對集成化數字全息顯微系統的需求也是不斷的增長，特別是光刻制造領域對微光學元件表征、MEMS器件表面形貌測量、材料表面度量分析、生命科學領域對生物細胞生化參數和動力學研究等等。目前從事商業化數字全息顯微鏡研發的機構中，LyneeTec公司推出的產品主要有單波長透射結構和反射結構、雙波長反射結構、三波長反射結構。Tomocube公司推出的產品主要是單波長透射結構，應用到細胞層析成像。Phase Holographic Imaging公司推出的產品也聚焦在單波長透射結構。d'optron公司推出了無透鏡小型化產品。曲偉娟博士團隊研發了基于單個方形分束鏡的單波長透射式共路系統，穩定性高。但是這些產品中都存在模式單一，只能針對特定一種模式結構的問題。若進行多模式的測量，用戶需購買多臺設備以測量不同類型樣品。因此有必要設計一種多模式的數字全息顯微系統。

實用新型內容

本實用新型目的在于提供一種多模式數字全息顯微定量相位測量裝置，具備透射結構、反射結構、單波長測量、雙波長測量的功能，以解決上述現有技術存在的問題。

本實用新型所述多模式數字全息顯微定量相位測量裝置，包括第一光源和第二光源，所述的第一光源分別通過第一光纖連接第一出光端口和通過第三光纖連接第三出光端口，所述的第二光源通過第二光纖連接第二出光端口；第一出光端口輸出的光路經過第一會聚透鏡后射入第一分束模塊的第一輸入側，第二出光端口輸出的光路經過第二會聚透鏡后射入所述第一分束模塊的第二輸入側，所述第一分束模塊的輸出側將光路輸入第二分束模塊的第一輸入側；第三出光端口輸出的光路依次經過第三會聚透鏡、顯微物鏡和物鏡轉盤后輸入第二分束模塊的第二輸入側，第二分束模塊的輸出側將光路同時輸入第三分束模塊的第一輸入側和第二輸入側；設置相機接收第三分束模塊輸出的所有光信號。

本實用新型多模式數字全息顯微定量相位測量裝置，其優點在于，集成了單波長透射結構、反射結構和雙波長反射結構。利用第三分束模塊實現共路離軸結構，物光和參考光經過了相同的路徑。穩定性高，且去除了二次相位畸變。可以實現單波長下透射型和反射型樣品、雙波長下反射型樣品的測量和分析。

附圖說明

圖1是本實用新型所述多模式數字全息顯微定量相位測量裝置的結構示意圖。

附圖標記：

L1-第一光源、L2-第二光源；

Line1-第一光纖、Line2-第二光纖、Line3-第三光纖；

J1-第一出光端口、J2-第二出光端口、J3-第三出光端口；

CL1-第一會聚透鏡、CL2-第二會聚透鏡、CL3-第三會聚透鏡；

BS1-第一分束模塊、BS2-第二分束模塊、BS3-第三分束模塊；

MO-顯微物鏡、OT-物鏡轉盤、CCD-相機；

S1-待測物體。

具體實施方式