[實用新型]一種尾氣前處理裝置

有效

• 申請號: 202120057039.2
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN215137930U
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 宣城睿暉宣晟企業管理中心合伙企業（有限合伙）
• 主分類號: B01D46/10
• 分類號: B01D46/10;B01D46/44;B08B5/04;B08B15/04;G05B19/05
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718
• 代理人: 秦亞群;彭一波

本申請實施例中提供了一種尾氣前處理裝置，屬于PECVD技術領域，具體包括在線除塵裝置；通過本申請的處理方案，除塵控制模塊接收到除塵信號后，動力腔推動推桿向下移動，同時，刮刀從過濾網上端緩慢往復運動并刮出過濾網上粉塵，同時吸塵控制模塊接收到粉塵吸收信號后，依次打開第四自動閥、第三自動閥、第二自動閥、第一自動閥使收集容器到粉塵截留段形成通路,同時向第二自動閥內通入氮氣；被刮刀刮下的粉塵在吸附單元的吸引力下順利進入收集容器，使得本實用新型可清除廢氣中的粉塵；同時由于本裝置刮刀安裝在管道內，可以實現裝置工作時無需前后設備停機操作。

技術領域

本申請涉及PECVD技術領域，尤其涉及一種尾氣前處理裝置。

背景技術

PECVD工藝后的廢氣直接通過尾氣管道進入尾氣處理裝置，由于工藝后氣體存在一定的粉塵，流經尾氣管道進入尾氣處理裝置會附著在管道壁上，長時間積累會使管道氣流空間變窄，主要有以下影響：

1、增加PECVD設備排氣阻力；

2、增加尾氣處理設備進氣流量及壓差；

3，粉塵帶入尾氣處理設備影響其正常運行。

發明內容

有鑒于此，本申請實施例提供一種尾氣前處理裝置，至少部分解決現有技術中存在的問題。

一種尾氣前處理裝置，用于尾氣排放裝置與尾氣處理裝置之間的尾氣管道內的氣體處理，包括去塵機構、收集機構以及控制機構；

所述去塵機構包括動力單元、格擋單元以及去除單元；其中，所述格擋單元固定安裝在所述尾氣管道內，且所述格擋單元的一側安裝有去除單元，所述去除單元與動力單元固定連接，所述動力單元由驅動單元驅動，所述驅動單元上設置有隔擋自動閥；

所述收集機構包括收集主管、吸附單元、收集容器、開啟閥；其中，收集主管與所述尾氣管道相連通且位于所述去塵機構的下端；所述吸附單元安裝在收集主管內，且其一端連接所述收集容器、另一端連接有開啟閥；

所述控制機構包括氣壓傳感器以及控制器，所述氣壓傳感器用于獲取所述尾氣管道內的壓力差，所述控制器根據所述氣壓傳感器的信號控制所述隔擋自動閥和/或所述開啟閥的開閉。

進一步地，所述收集主管的局部段并排連通設置有第一進氣支路管與第二進氣支路管，且所述第一進氣支路管設置在所述格擋單元的一側，所述第二進氣支路管設置在所述格擋單元的另一側；

所述第一進氣支路管的另一端與所述第二進氣支路管的另一端相連通，且連通處安裝所述氣壓傳感器。

進一步地，所述驅動單元包括驅動殼體和驅動氣管，所述驅動殼體安裝在所述尾氣管道的外側，且位于所述第一進氣支路管與所述第二進氣支路管之間；所述驅動殼體內嵌有所述動力單元的一端；

所述驅動氣管與所述驅動殼體連通，所述隔擋自動閥設置于所述驅動氣管中，且所述驅動氣管內通有壓縮的氣體。

進一步地，所述格擋單元為過濾網，所述過濾網采用具有耐腐蝕、耐高溫特性的材料制成且開設有多個設定孔徑大小的網孔。

進一步地，所述去除單元為刮刀，所述刮刀采用不銹鋼材質制成。

進一步地，所述動力單元為推桿，所述推桿嵌入所述驅動殼體的一端為T 型，且所述推桿的另一端為圓柱形。

進一步地，所述開啟閥包括第一自動閥、第二自動閥、第三自動閥、第四自動閥；

所述收集主管的另一端與吸附單元形成T形管路結構，且所述收集主管與所述吸附單元之間安裝所述第一自動閥；

所述吸附單元的一端安裝所述第二自動閥；

所述吸附單元與所述收集容器之間安裝所述第三自動閥；