[實用新型]一種用于生產(chǎn)多晶硅環(huán)的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202120023114.3 | 申請日： | 2021-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN214496548U | 公開（公告）日： | 2021-10-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳富倫 | 申請（專利權(quán)）人： | 陳富倫 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11616 | 代理人： | 李朦 |
| 地址： | 222300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 生產(chǎn) 多晶 裝置 | ||
1.一種用于生產(chǎn)多晶硅環(huán)的裝置，包括坩堝主體，其特征在于，所述主體設(shè)為上端開口的筒狀結(jié)構(gòu)，所述主體包括外層、內(nèi)層以及位于二者之間的夾層，所述外層位于主體的外側(cè)，所述內(nèi)層位于主體的內(nèi)側(cè)；所述主體的內(nèi)壁面上涂覆有脫膜層，所述主體的內(nèi)層設(shè)有石墨襯套；所述主體外部套設(shè)有可拆卸式石墨護板，所述石墨護板包覆主體的側(cè)部和底部位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)多晶硅環(huán)的裝置，其特征在于，所述石墨襯套設(shè)為貼附在主體內(nèi)壁面上的筒狀結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)多晶硅環(huán)的裝置，其特征在于，所述石墨護板設(shè)為套設(shè)在主體外部的圓筒狀結(jié)構(gòu)，所述石墨護板的上部開口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)多晶硅環(huán)的裝置，其特征在于，所述脫膜層設(shè)為氮化硅脫膜層，并刷涂在內(nèi)層的內(nèi)側(cè)位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的一種用于生產(chǎn)多晶硅環(huán)的裝置，其特征在于，所述主體在高度方向上按照從上至下依次變細的方式延伸，且所述主體的側(cè)壁面設(shè)為外凸弧形。
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