[實用新型]一種高遠心度紫外掃描場鏡

有效

• 申請號: 202120020766.1
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN214291376U
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 鄒武兵;李璟;段家露;吳飛龍
• 申請（專利權）人: 深圳市韻騰激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;G02B13/00;G02B26/10
• 代理公司: 深圳市恒程創新知識產權代理有限公司 44542
• 代理人: 趙愛蓉

1.一種高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，包括沿光束傳播方向依次設置的呈雙凹結構且焦距為負的第一透鏡lens1、呈彎月結構且焦距為正的第二透鏡lens2、呈彎月結構且焦距為正的第三透鏡lens3、呈彎月結構且焦距為正的第四透鏡lens4、呈彎月結構且焦距為正的第五透鏡lens5以及呈平板結構的保護鏡SG。

2.根據權利要求1所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，還包括入瞳面和像面，所述入瞳面設置在所述第一透鏡lens1沿光束傳播方向的前端，所述像面設置在所述保護鏡SG沿光束傳播方向的后端，所述入瞳面與所述第一透鏡lens1之間的空氣間隔d0為37mm,所述第一透鏡lens1與所述第二透鏡lens2之間的空氣間隔d2為6.4mm，所述第二透鏡lens2與所述第三透鏡lens3之間的空氣間隔d4為1mm，所述第三透鏡lens3與所述第四透鏡lens4之間的空氣間隔d6為1mm，所述第四透鏡lens4與第所述五透鏡lens5之間的空氣間隔d8為1mm，所述第五透鏡lens5與所述保護鏡SG之間的空氣間隔d10為5mm,所述像面與所述保護鏡SG之間的空氣間隔d12為148.5mm。

3.根據權利要求1所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，所述第一透鏡lens1的前后兩側的曲率半徑分別為R1＝-29.72mm和R2＝1021.46mm，所述第一透鏡lens1的中心厚度d1為4mm。

4.根據權利要求1所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，所述第二透鏡lens2的前后兩側的曲率半徑分別為R3＝-117.06mm和R4＝-63.3mm，所述第二透鏡lens2的中心厚度d3為13.54mm。

5.根據權利要求1所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，所述第三透鏡lens3的前后兩側的曲率半徑分別為R5＝-204.53mm和R6＝-78.9mm，所述第三透鏡lens3的中心厚度d5為15mm。

6.根據權利要求1所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，所述第四透鏡lens4的前后兩側的曲率半徑分別為R7＝-1111.36mm和R8＝-90.25mm，所述第四透鏡lens4的中心厚度d7為13.73mm。

7.根據權利要求1所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，所述第五透鏡lens5的兩面曲率半徑分別為R9＝319.17mm和R10＝-143.75mm，所述第五透鏡lens5的中心厚度d9為15mm。

8.根據權利要求1所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，所述保護鏡SG的中心厚度d11為3mm。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，掃描場鏡的總焦距為f，所述第一透鏡lens1、所述第二透鏡lens2、所述第三透鏡lens3、所述第四透鏡lens4和所述第五透鏡lens5的焦距分別為f1、f2、f3、f4、f5，其中與掃描場鏡的總焦距f滿足以下關系：-0.65f1/f-0.5；+2f2/f+3；+2f3/f+3；+1.5f4/f+2.5；+1.5f5/f+2.5。

10.根據權利要求1至8中任一項所述的高遠心度紫外掃描場鏡，其特征在于，所述第一透鏡lens1、所述第二透鏡lens2、所述第三透鏡lens3、所述第四透鏡lens4以及所述保護鏡SG的材質均為熔石英玻璃材質且折射率Nd均為1.46。