[實(shí)用新型]一種晶圓切割環(huán)的尺寸檢驗(yàn)工裝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120020104.4
• 申請(qǐng)日: 2021-01-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213902253U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣松杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州恩斯貝格精密機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/00
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/00
• 代理公司: 溫州知遠(yuǎn)專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33262
• 代理人: 湯時(shí)達(dá)

1.一種晶圓切割環(huán)的尺寸檢驗(yàn)工裝，其特征在于，包括底座，底座上設(shè)有凹槽，凹槽兩端分別為晶圓切割環(huán)的插入口，凹槽兩側(cè)設(shè)有定位組件，兩組定位組件相對(duì)設(shè)置，所述定位組件包括調(diào)節(jié)部，滑動(dòng)部和彈簧，所述調(diào)節(jié)部設(shè)有腰形孔，調(diào)節(jié)部與底座通過(guò)螺釘連接，螺釘穿設(shè)在腰形孔中，所述滑動(dòng)部與調(diào)節(jié)部連接，滑動(dòng)部與調(diào)節(jié)部之間設(shè)有彈簧，所述調(diào)節(jié)部設(shè)有凹陷部，滑動(dòng)部設(shè)置在凹陷部中，滑動(dòng)部上設(shè)有測(cè)距傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割環(huán)的尺寸檢驗(yàn)工裝，其特征在于，所述底座設(shè)有安裝孔，底座上設(shè)有蓋板，蓋板設(shè)有配接柱，配接柱與安裝孔對(duì)應(yīng)設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓切割環(huán)的尺寸檢驗(yàn)工裝，其特征在于，多個(gè)安裝孔間隔設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓切割環(huán)的尺寸檢驗(yàn)工裝，其特征在于，所述調(diào)節(jié)部設(shè)有滑槽，所述滑動(dòng)部的滑塊插設(shè)在滑槽中。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓切割環(huán)的尺寸檢驗(yàn)工裝，其特征在于，所述彈簧兩端分別設(shè)置在調(diào)節(jié)部的第一定位孔和滑動(dòng)部的第二定位孔中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓切割環(huán)的尺寸檢驗(yàn)工裝，其特征在于，所述滑動(dòng)部?jī)啥嗽O(shè)有斜面。