[發(fā)明專利]固晶機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111674090.9
• 申請日: 2021-12-31
• 公開（公告）號: CN114496871B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃崗;曾國鵬;嚴楚雄
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳新益昌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 徐漢華

本申請?zhí)峁┝艘环N固晶機，包括：傳送單元，用于支撐并移送基板至固晶位；進料單元，用于供給基板；晶片供給單元，用于供給晶片；晶環(huán)供給單元，用于供給滿晶環(huán)，并回收空晶環(huán)；轉(zhuǎn)塔機構(gòu)，用于將供晶位的晶片轉(zhuǎn)送至取晶位；穿刺機構(gòu)，用于向下刺破供晶位上晶片處的藍膜，以將晶片推頂至轉(zhuǎn)塔機構(gòu)；以及，固晶機構(gòu)。本申請?zhí)峁┑墓叹C，可以實現(xiàn)基板的自動供給、定點移動；另外，可以實現(xiàn)晶環(huán)的自動供給與回收，并且穿刺機構(gòu)向下刺破藍膜，以將晶片剝離至轉(zhuǎn)塔機構(gòu)，并轉(zhuǎn)移到取晶位，以供固晶機構(gòu)使用，可以良好避免取晶失敗，縮短固晶機構(gòu)移動晶片的行程與時間，提升晶片移動的平穩(wěn)性，提升固晶精度與固晶效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請屬于固晶技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，是涉及一種固晶機。

背景技術(shù)

固晶一般是通過固晶擺臂將晶圓上的晶片從供晶位吸取，再移動至基板上的固晶位，以將晶片精準安裝在基板上，以實現(xiàn)固晶。晶圓一般安裝在晶環(huán)中，通過晶環(huán)支撐晶圓。晶圓上晶片被取出后，形成空晶環(huán)。為便于描述，將存儲有晶圓的晶環(huán)稱為滿晶環(huán)。晶片具有正面與背面，晶片的背面一般設(shè)有電極，以與基板相連，而晶圓上晶片的正面貼于藍膜上。當前固晶機一般是使用取晶機構(gòu)將晶環(huán)從晶環(huán)盒中取出，并放置至供晶機構(gòu)，頂出機構(gòu)向上頂動供晶機構(gòu)中晶圓上的藍膜，使藍膜擴張，而使藍膜上相鄰晶片分離開，再從頂部吸取晶片，放置到翻轉(zhuǎn)機構(gòu)翻轉(zhuǎn)晶片，然后固晶邦頭從翻轉(zhuǎn)機構(gòu)吸取晶片，再安裝在基板上，這種結(jié)構(gòu)，需要翻轉(zhuǎn)晶片，且固晶邦頭移動距離遠，晶片移動行程長，效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實施例的目的在于提供一種固晶機，以解決相關(guān)技術(shù)中存在的固晶機需要翻轉(zhuǎn)晶片，且固晶邦頭移動距離遠，晶片移動行程長，效率低的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本申請實施例采用的技術(shù)方案是：提供一種固晶機，包括：

傳送單元，用于支撐并移送基板至固晶位；

進料單元，用于向所述傳送單元定位供給所述基板；

晶片供給單元，用于支撐晶環(huán)，并向供晶位供給晶片；

晶環(huán)供給單元，用于向所述晶片供給單元供給滿晶環(huán)，并回收所述晶片供給單元中的空晶環(huán)；

轉(zhuǎn)塔機構(gòu)，用于將所述供晶位的晶片轉(zhuǎn)送至取晶位；

穿刺機構(gòu)，用于向下刺破所述供晶位上晶片處的藍膜，以將所述晶片推頂至所述轉(zhuǎn)塔機構(gòu)；以及，

固晶機構(gòu)，用于吸取所述取晶位的晶片，并移動至所述固晶位，以安裝于所述基板上；

所述轉(zhuǎn)塔機構(gòu)設(shè)于所述穿刺機構(gòu)與所述固晶機構(gòu)之間，所述穿刺機構(gòu)設(shè)于所述晶片供給單元的一側(cè)，所述傳送單元設(shè)于所述進料單元的一側(cè)，所述進料單元位于所述固晶機構(gòu)的下方。

本申請實施例提供的固晶機的有益效果在于：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請實施例的固晶機，通過進料單元向傳送單元自動供給基板，通過傳送單元帶動基板上晶片安裝位依次到達供晶位固晶；設(shè)置晶環(huán)供給單元，以自動供給滿晶環(huán)和回收空晶環(huán)，設(shè)置晶片供給單元來向供晶位提供晶片，設(shè)置穿刺機構(gòu)，向下刺破藍膜，以將供晶位的晶片從藍膜上剝離，以便轉(zhuǎn)塔機構(gòu)接收，可以避免取晶失敗；轉(zhuǎn)塔機構(gòu)將晶片從供晶位轉(zhuǎn)送到取晶位，這樣固晶機構(gòu)可以直接從轉(zhuǎn)塔機構(gòu)吸取晶片，以移動至固晶位安裝在基板上，無需翻轉(zhuǎn)晶片，并且可以縮短固晶機構(gòu)移動晶片的行程與時間，從而可以提升晶片移動的平穩(wěn)性，并且可以提升固晶精度與固晶效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例或示范性技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請實施例提供的固晶機的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本申請實施例提供的固晶機的部分結(jié)構(gòu)示意圖；