[發(fā)明專利]一種基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺

在審

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• 申請日: 2021-12-31
• 公開（公告）號: CN114353776A
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發(fā)明（設計）人: 闞梟;占瞻;馬昭;楊珊;嚴世濤;彭宏韜;李楊;黎家健;陳秋玉;洪燕
• 申請（專利權）人: 瑞聲開泰科技(武漢)有限公司
• 主分類號: G01C19/5621
• 分類號: G01C19/5621;B81B7/02
• 代理公司: 深圳市恒申知識產(chǎn)權事務所(普通合伙) 44312
• 代理人: 鐘連發(fā)

1.一種基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，包括錨點、彈性連接于所述錨點外側的至少兩個驅動結構、連接于所述驅動結構的質量組以及連接相鄰所述驅動結構的耦合梁，其特征在于，所述質量組包括連接于所述驅動結構遠離所述錨點側的兩檢測組件，兩所述檢測組件分別設置于所述驅動結構相對的兩側，所述檢測組件包括均連接于所述驅動結構且間隔設置的兩質量塊以及設置于所述質量塊下方或上方的檢測換能器，所述質量塊的至少部分延伸至所述驅動結構的外側。

2.根據(jù)權利要求1所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：同一所述檢測組件的兩所述質量塊的遠離所述間隔側之間的夾角小于180°。

3.根據(jù)權利要求1所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述驅動結構包括分別設置于所述錨點相對兩側的兩連接部、以及分別設置于所述錨點相對兩側且連接于對應的所述連接部遠離所述錨點側的兩彈性部，兩所述彈性部間隔設置，所述彈性部的兩端分別與兩所述檢測組件相鄰的邊緣連接。

4.根據(jù)權利要求3所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述驅動結構還包括連接所述錨點與所述連接部的至少兩柔性梁，所述錨點具有容置對應的所述柔性梁的第一容置槽。

5.根據(jù)權利要求4所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述第一容置槽包括靠近所述錨點的主槽以及自所述主槽朝遠離所述錨點方向延伸的連接槽；所述柔性梁包括一端連接于所述連接部且另一端伸入所述連接槽的連接梁以及一端與所述連接梁連接且另一端與所述錨點連接的固定梁，所述固定梁容置于所述主槽。

6.根據(jù)權利要求4所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述耦合梁連接兩所述連接部。

7.根據(jù)權利要求6所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述錨點具有容置所述耦合梁的第二容置槽，所述第二容置槽包括位于兩所述連接部之間的安裝槽以及相對設置于所述安裝槽兩側且結構相同的兩耦合槽，所述安裝槽與所述耦合槽連通，所述耦合槽靠近所述錨點的一端具有開口；所述耦合梁包括設置于所述安裝槽的安裝梁以及一端與所述安裝梁連接且另一端分別與對應的所述連接部連接的兩彈性臂，所述彈性臂設置于對應的所述耦合槽內且自所述開口伸出與對應的所述連接部連接。

8.根據(jù)權利要求3所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述檢測換能器包括正電極與負電極，所述正電極與所述負電極分別設置于同一檢測組件的兩所述質量塊上方或下方，且所述正電極與所述負電極以所述錨點為中心對稱設置于兩所述檢測組件的對應的所述質量塊上。

9.根據(jù)權利要求3所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述驅動結構還包括設置于所述彈性部的驅動換能器。

10.根據(jù)權利要求9所述的基于旋轉模態(tài)的MEMS陀螺，其特征在于：所述彈性部包括設置所述連接部的遠離所述錨點側且間隔設置的至少兩安裝部、設置于相鄰的兩所述安裝部之間的間隔部以及設置于所述安裝部的遠離所述連接部側的外圍部，所述外圍部與所述安裝部、所述間隔部連接，且所述安裝部、所述間隔部與所述連接部連接，所述外圍部分別與兩所述檢測組件相鄰的邊緣連接，所述驅動換能器設置于所述安裝部。