[發明專利]惰性氣體保護的高純全氟碳電子特氣吸附純化方法

有效

• 申請號: 202111672465.8
• 申請日: 2021-12-31
• 公開（公告）號: CN114307517B
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 周言;黃國強;胡號;鐘強
• 申請（專利權）人: 天津大學浙江紹興研究院
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00;B01D53/04;C01B9/08;C07C17/389;C07C19/08;C07C21/20;C07C23/06
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 陸藝

1.惰性氣體保護的高純全氟碳電子特氣吸附純化方法，其特征在于包括如下步驟：

(1)將惰性氣鋼瓶中的高純惰性氣體與原料氣鋼瓶中的全氟碳電子特氣粗品原料氣按高純惰性氣體體積濃度為100％～0的比例，由高至低體積濃度梯度通入混配氣鋼瓶中，進行混配，得到液態混配氣；

(2)將所述液態混配氣通入頂層和底層為瓷球，中間為分層填裝不同種類吸附劑的吸附塔中進行吸附，全氟碳電子特氣粗品原料氣中的雜質被吸附截留于吸附劑中；凈化氣通入冷凝器中冷凝，在冷凝器底部得到液態全氟碳電子特氣中間氣收集于中間氣鋼瓶中，在冷凝器頂部得到不凝高純惰性氣體循環回至惰性氣鋼瓶中；

(3)當所述液態混配氣中的高純惰性氣體體積占比為0時，停止通入高純惰性氣體和全氟碳電子特氣粗品原料氣，將收集于中間氣鋼瓶中的液態全氟碳電子特氣中間氣替代液態混配氣切入吸附塔并通入冷凝器，進行連續循環吸附，直至全氟碳電子特氣中間氣純度等于或大于99.999％以及各雜質濃度小于或等于1ppm，得到高純全氟碳電子特氣產品氣收集于產品氣鋼瓶中；全氟碳電子特氣為四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、六氟丁二烯或八氟環丁烷；由高至低體積濃度梯度為5％～10％。

2.根據權利要求1所述的純化方法，其特征是所述惰性氣體為高純氦氣、高純氖氣、高純氬氣、高純氪氣和高純氙氣中至少一種。

3.根據權利要求1所述的純化方法，其特征是所述液態混配氣的壓力為1.0～6.0MPaG。

4.根據權利要求1所述的純化方法，其特征是所述瓷球的粒徑為2～5mm。

5.根據權利要求1所述的純化方法，其特征是所述不同種類吸附劑為由下至上依次是活性炭、3A分子篩和4A分子篩，所述活性炭、3A分子篩或4A分子篩的粒徑為2～5mm。

6.根據權利要求1所述的純化方法，其特征是所述吸附塔的操作壓力為0.5～3.0MPaG，操作溫度為-60℃～5℃，空塔氣速為0.2～1.5m/s。