[發明專利]多通道柔性微針電極及制備方法

在審

• 申請號: 202111671701.4
• 申請日: 2021-12-31
• 公開（公告）號: CN114469113A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 李志宏;王忠巖;李君實
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: A61B5/291
• 分類號: A61B5/291;A61B5/293;A61B5/296;A61N1/04;A61N1/36
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 吳剛

1.一種多通道柔性微針電極，其特征在于，包括：

柔性襯底，所述柔性襯底設有多個通孔，多個所述通孔均從所述柔性襯底的第一側面貫穿至所述柔性襯底的第二側面；

多個微針，多個所述微針均設于所述第一側面，所述微針與所述通孔的表面電連接，所述通孔的表面和所述微針的表面為導電材料制成；

布線層，所述布線層設于所述第二側面，所述布線層具有多個第一接頭和多個第二接頭，所述第一接頭設于所述通孔，并與所述通孔的表面電連接，所述第二接頭用于導入或者導出電信號。

2.根據權利要求1所述的多通道柔性微針電極，其特征在于，每一個所述通孔與一個對應的所述微針電連接，每一個所述第一接頭與一個所述通孔的表面電連接，每個所述第二接頭與一個所述第一接頭對應電連接，每個所述第二接頭用于導入或者導出一路電信號。

3.根據權利要求1所述的多通道柔性微針電極，其特征在于，每個所述第一接頭與多個所述通孔的表面電連接，每個所述第一接頭對應于多個相互電連接的所述微針，每個所述第二接頭與一個所述第一接頭對應電連接，每個所述第二接頭用于導入或者導出多路電信號。

4.根據權利要求3所述的多通道柔性微針電極，其特征在于，所述柔性襯底上具有多個通孔群，相鄰的所述通孔群之間的距離大于目標距離，每個所述第一接頭與一個所述通孔群的表面電連接，每個所述通孔群包括多個相互電連接的所述通孔，每個所述通孔群對應于多個相互電連接的所述微針。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的多通道柔性微針電極，其特征在于，還包括：

第一絕緣層，所述第一絕緣層覆蓋于所述布線層背離所述柔性襯底的一側。

6.根據權利要求1-4中任一項所述的多通道柔性微針電極，其特征在于，所述微針包括針體和針尖；

所述多通道柔性微針電極還包括：

第二絕緣層，所述第二絕緣層包覆于多個所述通孔的表面和多個所述微針的針體，多個所述微針的針尖暴露在所述第二絕緣層外。

7.根據權利要求1-4中任一項所述的多通道柔性微針電極，其特征在于，所述微針的形狀為圓錐狀、麥芒狀或者尖錐狀。

8.根據權利要求1-4中任一項所述的多通道柔性微針電極，其特征在于，所述通孔的直徑為10μm至200μm；

或者，所述柔性襯底的厚度為5μm至100μm；

或者，所述微針的直徑為50μm至200μm；

或者，所述微針的長度為0.3mm至2mm。

9.一種多通道柔性微針電極的制備方法，其特征在于，應用于如權利要求1至8中任一項所述的多通道柔性微針電極，所述多通道柔性微針電極的制備方法包括：

確定陽模具；

基于所述陽模具進行翻模處理，得到陰模具；

將目標材料覆蓋所述陰模具，進行高溫固化和機械拋光處理，得到具有多個通孔和多個微針的柔性襯底；

在所述柔性襯底的第二側面制作布線層，將所述布線層中的第一接頭設于所述通孔內；

在每個所述微針和每個所述通孔的表面涂覆導電材料，得到所述多通道柔性微針電極，所述導電材料用于將所述微針與對應的所述通孔和對應的所述第一接頭電連接。

10.根據權利要求9所述的多通道柔性微針電極的制備方法，其特征在于，還包括：

在所述多個所述通孔的表面和多個所述微針的表面覆蓋第二絕緣層；

在所述第二絕緣層的表面涂覆光刻膠，并去除所述微針的針尖處覆蓋的絕緣材料，以使所述微針的針尖暴露在所述第二絕緣層外。