[發明專利]一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷及其制備方法有效
| 申請號: | 202111641899.1 | 申請日: | 2021-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN114163242B | 公開(公告)日: | 2022-11-18 |
| 發明(設計)人: | 劉兵;周夢飛;沙柯;林峰立;宋開新 | 申請(專利權)人: | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號: | C04B35/553 | 分類號: | C04B35/553;C04B35/622 |
| 代理公司: | 浙江千克知識產權代理有限公司 33246 | 代理人: | 黎雙華 |
| 地址: | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 介電常數 品質因數 微波 介質 陶瓷 及其 制備 方法 | ||
1.一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷,其特征在于,所述微波介質陶瓷的化學組成表達式為MgAlF5,所述微波介質陶瓷的相對介電常數為6.5~7.7,品質因數
2.根據權利要求1所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)配料:根據MgAlF5的化學式按照1:1的摩爾計量比稱取MgF2與AlF3原料;
(2)混料:將配料得到的混合原料、無水乙醇進行濕法球磨,得到泥漿狀原料;
(3)烘干:將所述泥漿狀原料烘干至恒重,得到干燥的混合料;
(4)預燒:將所述混合料過篩分散后進行預燒處理,反應后得到MgAlF5粉體;
(5)球磨:向所述MgAlF5粉體中加入無水乙醇,進行二次研磨,形成均勻分散的MgAlF5漿料;
(6)烘干:將所述MgAlF5漿料烘干至恒重,得到MgAlF5化合物粉末;
(7)燒結:將所述MgAlF5化合物粉末壓成生坯,隨后將所述生坯進行燒結處理,得到微波介質陶瓷MgAlF5;
(8)陶瓷表面研磨拋光:將燒結后的所述微波介質陶瓷MgAlF5表面進行研磨拋光。
3.根據權利要求2所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)中,所述預燒處理溫度為900~1000℃,時間為1~4h。
4.根據權利要求2所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,所述步驟(7)中,所述燒結處理的溫度為1100~1175℃,時間為1~4h。
5.根據權利要求3所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)中,所述預燒處理的升溫速率為5℃/min~10℃/min,所述預燒處理后自然冷卻至室溫。
6.根據權利要求4所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,所述步驟(7)中,所述燒結處理的升溫速率為1℃/min~5℃/min。
7.根據權利要求6所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,所述步驟(7)中,所述燒結處理后先以1℃/min~5℃/min的速度降溫至800~1000℃,然后自然冷卻至室溫。
8.根據權利要求2所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)與所述步驟(5)中,球磨珠為ZrO2。
9.根據權利要求8所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,混合原料、ZrO2球磨珠、無水乙醇溶劑的質量比為1:8:4。
10.根據權利要求2所述的一種低介電常數高品質因數的微波介質陶瓷的制備方法,其特征在于,所述步驟(7)中,所述生坯的壓制壓力為95~100Mpa。
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