[發明專利]界面熱導測試樣品及其形成方法

在審

• 申請號: 202111618128.0
• 申請日: 2021-12-27
• 公開（公告）號: CN114324458A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 劉悅;劉玉菲;王晶晶;楊昆明;范同祥
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01N25/20
• 分類號: G01N25/20;G01N1/28;G01N1/36
• 代理公司: 深圳市嘉勤知識產權代理有限公司 44651
• 代理人: 董琳

1.一種界面熱導測試樣品的形成方法，其特征在于，包括：

對待檢測材料進行預處理，得到片狀樣品，以所述片狀樣品垂直于厚度方向上的一側表面作為目標表面，所述片狀樣品內具有增強相顆粒；

選擇所述目標表面內暴露的增強相顆粒作為目標顆粒，所述目標顆粒暴露的表面作為參考面；

將所述片狀樣品置于鑲樣槽內，調整所述目標表面與槽底之間的夾角為預設傾斜角度；

向所述鑲樣槽內注入鑲樣膠體并固化，得到包裹有所述片狀樣品的鑲嵌試樣；

沿所述鑲嵌試樣的一側表面向所述目標顆粒方向對所述鑲嵌試樣進行磨拋，直至磨拋至磨拋面與所述目標顆粒的參考面的邊緣之間的距離小于等于預設距離，得到測試樣品，所述磨拋面作為測試樣品的被測表面。

2.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，還包括：在所述磨拋面上形成反射層。

3.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，以所述目標顆粒的位于所述片狀樣品內，與所述參考面相鄰的一側表面作為所述目標顆粒的測試面；沿所述鑲嵌試樣的與所述測試面相對的表面，朝向所述測試面的方向進行所述磨拋。

4.根據權利要求3所述的形成方法，其特征在于，所述參考面與測試面之間具有夾角α，所述預設傾斜角度為β，所述參考面與所述測試樣品的磨拋面之間的目標夾角為θ，根據如下關系確定所述預設傾斜角度：β＝180°-α-θ。

5.根據權利要求4所述的形成方法，其特征在于，所述測試樣品用于TDTR測試；所述目標角度的最大值θ_max滿足：θ≤θ_max，θ_max＝arctan(r/H)，其中，r為TDTR測試中采用的激光的光斑半徑，H為被測表面的形貌起伏的波峰至波谷的振幅。

6.根據權利要求5所述的形成方法，其特征在于，所述被測表面的粗糙度小于等于60nm，所述振幅H范圍為200～250nm，光斑半徑r范圍為5～40μm，所述目標夾角θ范圍為0°～5°。

7.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述預設距離范圍為0～200nm。

8.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述磨拋采用從粗到細的兩個以上的研磨輪，依次對所述鑲嵌試樣進行磨拋；選用的研磨輪的目數范圍為300目～200目，磨拋轉速范圍為100～250rpm。

9.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述向所述鑲樣槽內注入鑲樣膠體并固化的步驟在常壓下進行。

10.一種界面熱導測試樣品，其特征在于，包括：

固化膠體，所述固化膠體一側表面覆蓋有反射層，所述反射層表面作為被測表面；

位于所述固化膠內的片狀樣品，所述片狀樣品內具有目標顆粒；所述目標顆粒具有參考面和測試面，所述參考面暴露于所述片狀樣品一側表面；所述測試面與參考面相鄰，且所述測試面朝向所述被測表面，與所述被測表面之間的夾角為目標夾角，所述目標角度大于等于0。

11.根據權利要求10所述的界面熱導測試樣品，其特征在于，所述測試樣品用于TDTR測試；所述目標夾度的最大值θ_max滿足：θ≤θ_max，θ_max＝arctan(r/H)，其中，r為TDTR測試中采用的激光的光斑半徑，H為所述被測表面的形貌起伏的波峰至波谷的振幅。

12.根據權利要求11所述的界面熱導測試樣品，其特征在于，所述被測表面的粗糙度小于等于60nm，所述振幅H范圍為200～250nm，所述光斑半徑r范圍為5～40μm，所述目標夾角θ范圍為0°～5°。

13.一種界面熱導測試樣品，其特征在于，采用如權利要求1至9中任一項所述的形成方法所形成。