[發明專利]一種薄膜體聲波諧振濾波器

有效

• 申請號: 202111614101.4
• 申請日: 2021-12-28
• 公開（公告）號: CN113992181B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 深圳新聲半導體有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H9/56;H03H9/58
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種薄膜體聲波諧振濾波器，包括基底、所述基底的頂部連接有覆蓋殼，所述基底的底部連接有防塵框，所述覆蓋殼的內頂壁設置有吸水海綿層，所述覆蓋殼的一側開設有透氣孔，所述透氣孔的表面設置有防塵網。本發明提供了一種薄膜體聲波諧振濾波器，通過吸水海綿層、防塵網和透氣孔的設置，使得基底以及覆蓋殼內部的空氣得到流通，同時能夠防止外部的水汽和灰塵的進入，避免對內部造成一定的影響。

技術領域

本發明涉及諧振濾波器技術領域，具體為一種薄膜體聲波諧振濾波器。

背景技術

申請號為專利文件202011021256.2的現有專利公開了一種薄膜體聲波諧振濾波器，包括“頂部電極邊緣處臺階、頂部電極、壓電薄膜、底部電極、帶有空氣背腔的絕緣支撐層。本發明在頂部電極邊緣處設計了第一臺階、第二臺階和第三臺階，用于反射蘭姆波。通過對頂部各級臺階長度、寬度、厚度的設計，對寄生諧振具有最佳的抑制效果，有效消除了薄膜體聲波諧振濾波器的相位響應中的紋波。通過優化設計，該薄膜體聲波諧振濾波器具有高的品質因數，高的機電耦合系數低的寄生諧振和平坦的相位響應特性，使得該發明可以應用于低噪聲濾波器和他射頻應用”，上述裝置在使用時未設置保護部件，所以上述薄膜體聲波諧振濾波器暴露在空氣中，導致沾染灰塵以及水汽。因此，有必要提出一種薄膜體聲波諧振濾波器，以至少部分地解決現有技術中存在的問題。

發明內容

在發明內容部分中引入了一系列簡化形式的概念，這將在具體實施方式部分中進一步詳細說明。本發明的發明內容部分并不意味著要試圖限定出所要求保護的技術方案的關鍵特征和必要技術特征，更不意味著試圖確定所要求保護的技術方案的保護范圍。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案，一種薄膜體聲波諧振濾波器，包括基底、所述基底的頂部連接有覆蓋殼，所述基底的底部連接有防塵框，所述覆蓋殼的內頂壁設置有吸水海綿層，所述覆蓋殼的一側開設有透氣孔，所述透氣孔的表面設置有防塵網。

根據本發明實施例的薄膜體聲波諧振濾波器，所述基底的底部開設有空槽，所述空槽的內側壁開設有一組限位滑槽，所述限位滑槽的內部滑動連接有限位滑塊，所述限位滑塊的表面設置有連接柱，所述連接柱的底端設置有導電金屬片，所述導電金屬片的一側設置有金屬連接片，所述金屬連接片的一側設置有若干個插接釘。

根據本發明實施例的薄膜體聲波諧振濾波器，所述限位滑槽的內側壁設置有第一壓縮彈簧，且第一壓縮彈簧的底端連接于限位滑塊的一側，所述空槽的內側壁開設有活動槽，所述活動槽的內底壁開設有插接孔，所述限位滑塊的頂部的和底部均開設有放置槽，所述放置槽的內底壁設置有第二壓縮彈簧，所述第二壓縮彈簧的底端設置有插接桿，且插接桿的表面貫穿于插接孔的內部。

根據本發明實施例的薄膜體聲波諧振濾波器，所述導電金屬片的另一側連接有第一電極，且第一電極位于基底的頂部，所述第一電極的頂部設置有壓電薄膜層，所述壓電薄膜層的頂部設置有第二電極，所述基底底部的兩側均開設有固定孔，所述固定孔的內側壁開設有第一滑動槽，所述第一滑動槽的內側壁開設有第二滑動槽，所述固定孔的內側壁連接有固定銷，所述固定銷的表面設置有滑動塊，且滑動塊的表面滑動連接于第一滑動槽的內部。

根據本發明實施例的薄膜體聲波諧振濾波器，所述基底頂部的兩側均開設有一組螺紋孔，所述螺紋孔的內部螺紋連接有緊固螺栓。

根據本發明實施例的薄膜體聲波諧振濾波器，所述基底底部的兩側均設置有一組硅膠墊腳。

根據本發明實施例的薄膜體聲波諧振濾波器，所述防塵框的表面和背面均設置有固定塊，所述固定塊的一側開設有貫穿孔，且固定銷的表面貫穿于貫穿孔的內部。

根據本發明實施例的薄膜體聲波諧振濾波器，所述防塵框的一側開設有安置槽，所述安置槽的內側壁設置有密封墊。