[發(fā)明專利]光學(xué)無源微型振動(dòng)傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111610102.1
• 申請(qǐng)日: 2021-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN114485898A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張嘉偉;魏曉飛;葉子帆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01H9/00
• 分類號(hào): G01H9/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 談耀文

1.光學(xué)無源微型振動(dòng)傳感器，其特征在于：包括依次連接的振子組件和F-P腔組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)無源微型振動(dòng)傳感器，其特征在于：所述振子組件包括連接層，連接層中心處設(shè)有空腔B，空腔B的中心處設(shè)有彈簧，彈簧的上端連接在支撐層的底部，彈簧的下端連接有質(zhì)量塊，質(zhì)量塊與F-P腔組件連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)無源微型振動(dòng)傳感器，其特征在于：所述F-P腔組件包括硅層，硅層與支撐層之間設(shè)有敏感膜，硅層的中心處設(shè)有空腔A，空腔A的上下兩側(cè)分別設(shè)有反射面，硅層的底部設(shè)有雙拋硅片，雙拋硅片的中心處連接有光纖。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)無源微型振動(dòng)傳感器，其特征在于：所述光纖為準(zhǔn)直擴(kuò)束光纖。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)無源微型振動(dòng)傳感器，其特征在于：所述雙拋硅片上的光纖所發(fā)出光在敏感膜下端的反射面上產(chǎn)生干涉，由于法珀腔長發(fā)生改變，導(dǎo)致反射光強(qiáng)I_R與干涉相位差之間發(fā)生改變，關(guān)系式如下：

式中，R₁和R₂為別為兩反射面的反射率，I₀為入射光強(qiáng)。其中可以表達(dá)為：

式中，n為法珀腔內(nèi)介質(zhì)折射率，L為腔長，λ為入射光波長，θ為反射光與反射平面法線的夾角。