[發(fā)明專(zhuān)利]一種大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品加工方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111599470.0
• 申請(qǐng)日: 2021-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114559567A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪俊;鄭明山;楊軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江富樂(lè)德石英科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/00
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/00;B28D5/04;B24B1/00
• 代理公司: 杭州杭誠(chéng)專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 鄭汝珍

本發(fā)明公開(kāi)了一種大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品加工方法，包括以下步驟：S1：下料：切割下板料；S2：切割分解環(huán)坯料：從板料上切割出的部件坯料；S3：制備石英環(huán)產(chǎn)品坯料：將S2中的部件坯料焊接成一個(gè)完整的石英環(huán)產(chǎn)品坯料；S4：平磨倒斜角：對(duì)石英環(huán)產(chǎn)品坯料先進(jìn)行粗磨，再采用“四分法”進(jìn)行精磨，并在石英環(huán)產(chǎn)品坯料內(nèi)外徑棱邊處研磨形成粘蠟底面；S5：裝夾固定；S6：內(nèi)外徑加工：加工形成石英環(huán)產(chǎn)品半成品；S7：側(cè)壁鏜孔：在石英環(huán)產(chǎn)品半成品上分別加工形成小孔、大孔和方孔，形成石英環(huán)產(chǎn)品；S8：清洗：得到石英環(huán)產(chǎn)品。不僅有效解決了大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品受毛坯料產(chǎn)能影響采購(gòu)困難等問(wèn)題，而且大幅度提高了石英原材料的利用率，降低了生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于石英產(chǎn)品加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品加工方法。

背景技術(shù)

當(dāng)前正處于半導(dǎo)體行業(yè)高速發(fā)展的時(shí)期，石英產(chǎn)品作為半導(dǎo)體裝備中的關(guān)鍵零部件，其需求量也逐年增加。作為石英產(chǎn)品的大尺寸石英環(huán)市場(chǎng)發(fā)展迅速，產(chǎn)品需求量持續(xù)擴(kuò)張。面對(duì)市場(chǎng)的需求增加，再加上產(chǎn)品質(zhì)量的高要求，傳統(tǒng)的產(chǎn)品加工方式無(wú)法在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中取得優(yōu)勢(shì)，為了進(jìn)一步提升企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力，提升產(chǎn)品的品質(zhì)，降低生產(chǎn)成本，必須進(jìn)行工藝改進(jìn)和技術(shù)創(chuàng)新。

對(duì)于直徑在1米以上的大尺寸石英環(huán)的加工，目前行業(yè)內(nèi)主要使用的加工方法為：以石英錠為原材料，通過(guò)鋸切制備石英板、石英板再通過(guò)水切割制備石英環(huán)、平磨、內(nèi)外徑加工、側(cè)孔加工、清洗等工序才能完成。目前國(guó)內(nèi)外大尺寸石英錠產(chǎn)能有限，采用周期長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低，原材料利用率低，加工成本高，難以滿(mǎn)足目前市場(chǎng)對(duì)大尺寸石英環(huán)的大批量需求；石英環(huán)側(cè)孔加工過(guò)程中孔底部和內(nèi)外徑加工過(guò)程中底部都容易發(fā)生崩缺，產(chǎn)品一次合格率不是很理想。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中受限原材料產(chǎn)能影響，采用周期長(zhǎng)，原材料利用率低，加工成本高，難以滿(mǎn)足目前市場(chǎng)對(duì)大尺寸石英環(huán)的大批量需求的問(wèn)題，而提供了一種大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品毛坯料制作加工方法，通過(guò)對(duì)產(chǎn)品各部分結(jié)構(gòu)特征進(jìn)行分解，將一個(gè)完整的石英環(huán)產(chǎn)品分為若干段部件。對(duì)石英錠進(jìn)行切割下板料，根據(jù)每一部分的尺寸對(duì)板料進(jìn)行水切割備料，再將水切割后的每一部件材料通過(guò)火加工焊接成一個(gè)產(chǎn)品加工成所需的一個(gè)完整的原材料，這種方式不僅有效解決了大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品受毛坯料產(chǎn)能影響采購(gòu)困難等問(wèn)題，而且大幅度提高了石英原材料的利用率，降低了生產(chǎn)成本。

本發(fā)明實(shí)現(xiàn)其第一個(gè)發(fā)明目的所采用的技術(shù)方案是：一種大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品加工方法，包括以下步驟：

S1：下料：根據(jù)產(chǎn)品總高度對(duì)石英錠進(jìn)行切割下板料；

S2：切割分解環(huán)坯料：根據(jù)石英環(huán)產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)特征，對(duì)板料進(jìn)行水切割備料，從板料上切割出組成整體石英環(huán)產(chǎn)品的各個(gè)結(jié)構(gòu)特征所需要的部件坯料；

S3：制備石英環(huán)產(chǎn)品坯料：通過(guò)火加工將S2中的部件坯料焊接成一個(gè)產(chǎn)品加工成所需的完整的石英環(huán)產(chǎn)品坯料；

S4：平磨倒斜角：對(duì)石英環(huán)產(chǎn)品坯料先進(jìn)行粗磨，再采用“四分法”進(jìn)行精磨，并在石英環(huán)產(chǎn)品坯料內(nèi)外徑棱邊處研磨形成粘蠟底面；

S5：裝夾固定：準(zhǔn)備好帶有等高塊的裝夾治具，將S4中的石英環(huán)產(chǎn)品坯料上粘蠟底面用蠟粘在裝夾治具的等高塊上；

S6：內(nèi)外徑加工：先采用金屬刀具對(duì)石英環(huán)產(chǎn)品坯料內(nèi)外徑自上而下螺旋切削進(jìn)行粗加工，再用金屬刀具對(duì)石英環(huán)產(chǎn)品坯料內(nèi)外徑自上而下螺旋切削進(jìn)行精加工，加工形成石英環(huán)產(chǎn)品半成品；

S7：側(cè)壁鏜孔：在石英環(huán)產(chǎn)品半成品上根據(jù)孔的設(shè)置位置自外徑向內(nèi)徑分別加工形成小孔、大孔和方孔，形成石英環(huán)產(chǎn)品；

S8：清洗：清洗加工后的石英環(huán)產(chǎn)品，用氣槍將石英環(huán)產(chǎn)品吹干，得到大尺寸石英環(huán)產(chǎn)品。