[發(fā)明專利]具有電源管理功能的金屬布線層結(jié)構(gòu)及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111594772.9 | 申請日: | 2021-12-23 |
| 公開(公告)號: | CN114284237B | 公開(公告)日: | 2022-07-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李宗懌;倪洽凱;丁曉春;王亞男;劉籽余 | 申請(專利權(quán))人: | 長電集成電路(紹興)有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/522 | 分類號: | H01L23/522;H01L23/552;H01L21/768;H01F27/28;H01F27/30;H01F41/06 |
| 代理公司: | 重慶中之信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 50213 | 代理人: | 黃妍 |
| 地址: | 312000 *** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 具有 電源 管理 功能 金屬 布線 結(jié)構(gòu) 及其 制備 方法 | ||
本發(fā)明提供具有電源管理功能的金屬布線層結(jié)構(gòu)及其制備方法,所述布線層結(jié)構(gòu)包括:第一信號傳輸層、第二信號傳輸層和金屬繞組層,所述金屬繞組層布設(shè)在所述第一信號傳輸層與所述第二信號傳輸層之間,用于將所述外部電源芯片輸入的交變電信號轉(zhuǎn)換成所述外部工作芯片相匹配的工作電壓;其中,所述金屬繞組層包括環(huán)形磁芯、繞制在所述環(huán)形磁芯上的繞制銅線組、以及繞制在所述環(huán)形磁芯的至少一組感應(yīng)銅線組,所述繞制銅線組與所述第一信號傳輸層相連,所述至少一組感應(yīng)銅線組與所述第二信號傳輸層相連;其解決了現(xiàn)有技術(shù)中封裝結(jié)構(gòu)存在信號傳輸路徑長和電壓損耗大的問題,減少了外部電源芯片與外部工作片的信號傳輸路徑,降低了介質(zhì)損耗。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及電路封裝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及適用于具有電源管理功能的金屬布線層結(jié)構(gòu)及其制備方法。
背景技術(shù)
電源管理系統(tǒng)能一般由電源芯片和電源調(diào)制電路組成,為工作芯片提供更穩(wěn)定的電壓或電流波形,尤其是在為需要在交變電壓或電流供電的工作芯片中,因此,工作芯片要實現(xiàn)信號輸出的完整性,必須將電源芯片和電源調(diào)制電路匹配起來,而電源調(diào)制電路需要連接更多的電感、電容和電阻,以實現(xiàn)通過模擬電路對輸入電壓或電流波形的調(diào)制。
在目前芯片的封裝工藝中,一般都是將具有電源管理功能的芯片系統(tǒng)集成在封裝基板或PCB板的疊層結(jié)構(gòu)中,或通過封裝基板和/或PCB板上的焊球?qū)崿F(xiàn)與外部具有電源管理功能芯片的連接,這種工藝制程簡單,對封裝領(lǐng)域的工藝制程能力要求不高,但隨著芯片集成度的不斷提高及封裝尺寸的不斷減小,電源管理芯片系統(tǒng)的集成成為進(jìn)一步降低芯片封裝尺寸的瓶頸之一。但由于電源管理系統(tǒng)集成在封裝基板或PCB板的疊層結(jié)構(gòu)中,因此,電源管理系統(tǒng)與工作芯片的信號傳輸路徑較長,會帶來交變電壓或電流在為工作芯片供電時的噪聲問題;進(jìn)一步地,由于電源管理系統(tǒng)與工作芯片的信號傳輸路徑較長,由傳輸路徑帶來的介質(zhì)損耗,會導(dǎo)致供電電壓的損耗,同時會增加供電電源的功率損耗,導(dǎo)致對工作芯片的供電不足問題。
可見,現(xiàn)有技術(shù)中的具有電源管理功能的封裝結(jié)構(gòu)存在信號傳輸路徑長的問題,導(dǎo)致供電電壓的損耗較大,從而影響對工作芯片的供電。
發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)中所存在的不足,本發(fā)明提供的具有電源管理功能的金屬布線層結(jié)構(gòu)及其制備方法,其解決了現(xiàn)有技術(shù)中封裝結(jié)構(gòu)存在信號傳輸路徑長和電壓損耗大的問題,減少了外部電源芯片與外部工作片的信號傳輸路徑,降低了介質(zhì)損耗。
第一方面,本發(fā)明提供一種具有電源管理功能的金屬布線層結(jié)構(gòu),所述布線層結(jié)構(gòu)包括:第一信號傳輸層,所述第一信號傳輸層與外部電源芯片的輸出端相連;第二信號傳輸層,所述第二信號傳輸層與外部工作芯片的電源輸入端相連;金屬繞組層,所述金屬繞組層布設(shè)在所述第一信號傳輸層與所述第二信號傳輸層之間,用于將所述外部電源芯片輸入的交變電信號轉(zhuǎn)換成所述外部工作芯片相匹配的工作電壓;其中,所述金屬繞組層包括環(huán)形磁芯、繞制在所述環(huán)形磁芯上的繞制銅線組、以及繞制在所述環(huán)形磁芯的至少一組感應(yīng)銅線組,所述繞制銅線組與所述第一信號傳輸層相連,所述至少一組感應(yīng)銅線組與所述第二信號傳輸層相連。
第二方面,本發(fā)明提供一種具有電源管理功能的金屬布線層結(jié)構(gòu)的制備方法,所述方法包括:提供一載板,在所述載板的一面制備第一信號傳輸層;在所述第一信號傳輸層上制備繞制銅線組和至少一組感應(yīng)銅線組,且將環(huán)形磁芯埋嵌在所述繞制銅線組和至少一組感應(yīng)銅線組中,得到金屬繞組層;在所述金屬繞組層上制備第二信號傳輸層,剝離所述載板后形成具有電源管理功能的金屬布線層結(jié)構(gòu)。
相比于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明具有如下有益效果:
1、本發(fā)明將外部電源芯片通過第一信號傳輸層實現(xiàn)電源的輸入連接,在金屬繞組層的中埋嵌環(huán)形磁芯,并在環(huán)形磁芯上設(shè)置有繞制銅線組繞制銅線和至少一組感應(yīng)銅線組;當(dāng)外部電源芯片為繞制銅線組供應(yīng)交變電流時,所述環(huán)形磁芯中便產(chǎn)生交流磁通,則感應(yīng)銅線組感應(yīng)出相匹配的交變工作電壓,使所述交變工作電壓通過所述第二信號傳輸層為相對應(yīng)的外部工作芯片提供電能,從而減少了外部電源芯片與外部工作片的信號傳輸路徑,降低了介質(zhì)損耗。
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