[發(fā)明專利]光學(xué)諧振腔及其制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111588732.3
• 申請(qǐng)日: 2021-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN114236687A
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王乾圣;徐路;王磊;肖希
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢光谷信息光電子創(chuàng)新中心有限公司;武漢郵電科學(xué)研究院有限公司
• 主分類號(hào): G02B6/122
• 分類號(hào): G02B6/122;G02B6/125;G02B6/13
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 徐雯;蔣雅潔

1.一種光學(xué)諧振腔，其特征在于，包括：

條形波導(dǎo)，用于傳輸光信號(hào)；

環(huán)形波導(dǎo)，與所述條形波導(dǎo)并列設(shè)置，用于將所述條形波導(dǎo)中滿足預(yù)設(shè)條件的光信號(hào)耦合至所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)，并為耦合至所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)的光信號(hào)的傳輸提供循環(huán)路徑；其中，在沿所述循環(huán)路徑傳輸?shù)倪^程中，所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)的部分光信號(hào)耦合至所述條形波導(dǎo)中；

反射元件，與所述條形波導(dǎo)的端部連接，用于將接收的來自所述條形波導(dǎo)的至少部分光信號(hào)反射以形成反射光信號(hào)；

所述環(huán)形波導(dǎo)，還用于將所述反射光信號(hào)中滿足所述預(yù)設(shè)條件的光信號(hào)耦合至所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，

所述環(huán)形波導(dǎo)包括：連通的第一波導(dǎo)區(qū)域和第二波導(dǎo)區(qū)域；其中，所述第一波導(dǎo)區(qū)域的環(huán)寬小于所述第二波導(dǎo)區(qū)域的環(huán)寬，所述第一波導(dǎo)區(qū)域相對(duì)靠近所述條形波導(dǎo)；

所述第一波導(dǎo)區(qū)域，具體用于耦合所述條形波導(dǎo)中滿足所述預(yù)設(shè)條件的光信號(hào)，并將來自所述第二波導(dǎo)區(qū)域且未耦合至所述條形波導(dǎo)中的光信號(hào)再次傳輸至所述第二波導(dǎo)區(qū)域；

所述第一波導(dǎo)區(qū)域，具體還用于將來自所述第二波導(dǎo)區(qū)域的部分光信號(hào)耦合至所述條形波導(dǎo)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述反射元件用于將接收的來自所述條形波導(dǎo)的至少部分光信號(hào)反射以形成反射光信號(hào)，包括：

所述反射元件，用于將未耦合至所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)的至少部分光信號(hào)和從所述第一波導(dǎo)區(qū)域耦合至所述條形波導(dǎo)中的至少部分光信號(hào)反射，以形成所述反射光信號(hào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述環(huán)形波導(dǎo)包括：外環(huán)和內(nèi)環(huán)；所述內(nèi)環(huán)的半徑小于所述外環(huán)的半徑；

所述外環(huán)的圓心與所述內(nèi)環(huán)的圓心在平行于所述環(huán)形波導(dǎo)的平面內(nèi)未重合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述條形波導(dǎo)包括：第一端部和第二端部；所述反射元件，包括：

第一子反射元件，與所述第一端部連接；

和/或，

第二子反射元件，與所述第二端部連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述條形波導(dǎo)沿第一方向延伸；

所述條形波導(dǎo)和所述環(huán)形波導(dǎo)沿第二方向并列設(shè)置；其中，所述條形波導(dǎo)和所述環(huán)形波導(dǎo)位于基底之上，所述第二方向與所述第一方向垂直，所述第二方向和所述第一方向平行于所述基底所在的平面；

或，

所述條形波導(dǎo)和所述環(huán)形波導(dǎo)沿第三方向并列設(shè)置；其中，所述條形波導(dǎo)位于基底和所述環(huán)形波導(dǎo)之間；所述第一方向平行于所述基底所在的平面，所述第三方向垂直于所述基底所在的平面。

7.一種光學(xué)諧振腔的制作方法，其特征在于，包括：

形成條形波導(dǎo)；其中，所述條形波導(dǎo)用于傳輸光信號(hào)；

形成環(huán)形波導(dǎo)；其中，所述環(huán)形波導(dǎo)，與所述條形波導(dǎo)并列設(shè)置，用于將所述條形波導(dǎo)中滿足預(yù)設(shè)條件的光信號(hào)耦合至所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)，并為耦合至所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)的光信號(hào)的傳輸提供循環(huán)路徑；在沿所述循環(huán)路徑傳輸?shù)倪^程中，所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)的部分光信號(hào)耦合至所述條形波導(dǎo)中；

形成與所述條形波導(dǎo)的端部連接的反射元件；其中，所述反射元件用于將接收的來自所述條形波導(dǎo)的至少部分光信號(hào)反射以形成反射光信號(hào)；所述環(huán)形波導(dǎo)，還用于將所述反射光信號(hào)中滿足所述預(yù)設(shè)條件的光信號(hào)耦合至所述環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述形成環(huán)形波導(dǎo)，包括：

形成環(huán)形波導(dǎo)材料層，對(duì)所述環(huán)形波導(dǎo)材料層執(zhí)行退火處理，以形成所述環(huán)形波導(dǎo)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述形成條形波導(dǎo)，包括：在基底上形成沿第一方向延伸的所述條形波導(dǎo)；

所述形成環(huán)形波導(dǎo)，包括：

在所述基底上形成所述環(huán)形波導(dǎo)；其中，所述環(huán)形波導(dǎo)與所述條形波導(dǎo)沿第二方向并列設(shè)置；所述第二方向與所述第一方向垂直，所述第二方向和所述第一方向平行于所述基底所在的平面。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述形成條形波導(dǎo)，包括：在基底上形成沿第一方向延伸的所述條形波導(dǎo)；

所述形成環(huán)形波導(dǎo)，包括：

在所述條形波導(dǎo)上形成所述環(huán)形波導(dǎo)；其中，所述第一方向平行于所述基底所在的平面。