[發明專利]一種激光修復方法、裝置和存儲介質

在審

• 申請號: 202111550999.3
• 申請日: 2021-12-17
• 公開（公告）號: CN114264663A
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發明（設計）人: 郎經緯;黃陽
• 申請（專利權）人: 蘇州科韻激光科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市萬慧達律師事務所 11111
• 代理人: 陳曉磊

本發明涉及一種激光修復方法、裝置和存儲介質，方法包括以下步驟：S1，將產品放置于激光修復裝置的載臺上；S2，通過成像系統對產品進行圖像采集，同時采用頻閃照明模式對產品進行頻閃照明；其中，頻閃照明模式中，產品相對于成像系統的移動距離與頻閃照明的脈沖信號觸發間隔相匹配；S3，對采集的產品圖像進行缺陷分析并對產品進行缺陷修復處理。本發明的激光修復方法在進行圖像采集的過程中，采用頻閃照明模式對產品進行照明，提高了照明亮度和圖像采集效率，還延長了光源的壽命；在進行修復效果確認的過程中，采用持續照明模式，使用低電流獲得持續照明，方便了實時確認激光修復效果。

技術領域

本發明涉及激光修復技術領域，尤其是指一種激光修復方法、裝置和存儲介質。

背景技術

TFT(ThinFilm Transistor，薄膜晶體管)式顯示屏是各類筆記本電腦和臺式機上的主流顯示設備。現有的TFT制程中經常會出現一些線路缺陷，如異物、短路、斷路等缺陷，為了更全面的檢測產品瑕疵，通常采用顯微鏡進行檢測面的放大，從而對產品瑕疵進行有效的檢出，便于及時有效的修復產品，提高產品良品率。

眾所周知，這種檢測系統的顯微鏡為光學顯微鏡，為了更好地相機成像效果，必須外加光源，在使用時通過調節光源亮度來達到最佳成像的目的。但是現有技術采用傳統的持續照明方式，該方式采集的圖像亮度比較暗，不利于圖像分析對比，導致瑕疵識別困難，無法定位瑕疵的位置。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種激光修復方法、裝置和存儲介質，可以提高照明亮度，可以提高圖像采集效率，可以延長光源壽命。

為實現上述目的，本申請提出第一技術方案：

一種激光修復方法，包括以下步驟：

S1，將產品放置于激光修復裝置的載臺上；

S2，通過成像系統對產品進行圖像采集，同時采用頻閃照明模式對產品進行頻閃照明；

其中，頻閃照明模式中，產品相對于成像系統的移動速度與頻閃照明的脈沖信號觸發間隔相匹配；

S3，對采集的產品圖像進行缺陷分析并對產品進行缺陷修復處理。

在本發明的一個實施例中，所述頻閃照明模式的光照強度大于800萬Lux。

在本發明的一個實施例中，所述通過成像系統對產品進行圖像采集，具體包括：

成像系統按照預設采集路線對產品進行圖像采集；

同時采用頻閃照明模式對產品進行頻閃照明。

在本發明的一個實施例中，所述對采集的產品圖像進行缺陷分析，具體包括：

對采集的產品圖像進行圖像處理與分析；

獲取缺陷在產品上的具體位置信息。

在本發明的一個實施例中，所述對產品進行缺陷修復處理，具體包括：

將缺陷在產品上的具體位置信息反饋給控制中心；

控制中心控制激光修復系統移動至缺陷位置；

激光修復系統對相應的缺陷進行修復處理。

在本發明的一個實施例中，所述對產品進行缺陷修復處理后，具體包括：

將頻閃照明模式切換為持續照明模式，采用持續照明模式對產品進行持續照明；

成像系統對產品進行修復效果確認；

若修復效果達到標準，則結束修復，若修復效果未達到標準，則重新進行修復。

為實現上述目的，本申請還提出第二技術方案：