[發明專利]一種MEMS麥克風防護結構及MEMS麥克風陣列結構

在審

• 申請號: 202111548030.2
• 申請日: 2021-12-16
• 公開（公告）號: CN114125613A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 蔡萱;李小平;詹學磊;章林柯;鄒海山
• 申請（專利權）人: 國網湖北省電力有限公司電力科學研究院;南京零分貝聲學科技有限公司;國家電網有限公司
• 主分類號: H04R1/08
• 分類號: H04R1/08;H04R19/04
• 代理公司: 武漢楚天專利事務所 42113
• 代理人: 胡盛登

1.一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，包括防塵膜(1)、外殼體(3)、底座(5)、MEMS麥克風(7)，

所述外殼體(3)和所述底座(5)連接形成內腔(8)；

所述外殼體(3)上開設有用于聲音穿透的聲孔(2)；

所述聲孔(2)的下方設有所述防塵膜(1)；

所述MEMS麥克風(7)安裝在所述底座(5)上；

所述防塵膜(1)設置在所述聲孔(2)和所述MEMS麥克風(7)之間；

所述外殼體(3)和所述底座(5)將所述防塵膜(1)和MEMS麥克風(7)封裝在所述內腔(8)內部。

2.根據權利要求1所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述防塵膜(1)通過安裝在外殼體(3)內側壁上的支撐部(4)進行固定支撐。

3.根據權利要求1所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述防塵膜(1)的材料為纖維海綿。

4.根據權利要求1所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述防塵膜(1)的厚度為0.1-0.5mm。

5.根據權利要求2所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述防塵膜(1)和支撐部(4)為一體式結構。

6.根據權利要求1所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述MEMS麥克風(7)通過固定部(6)安裝在底座(5)上。

7.根據權利要求1所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述內腔(8)為圓柱狀。

8.根據權利要求1所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述聲孔(2)開設有多個。

9.根據權利要求8所述的一種MEMS麥克風防護結構，其特征在于，所述聲孔(2)在外殼體(3)的頂面上均勻分布。

10.一種MEMS麥克風陣列結構，其特征在于，包括陣列支架和權利要求1-9任一所述的MEMS麥克風防護結構(10)，所述MEMS麥克風防護結構(10)固定安裝在所述陣列支架上。

11.根據權利要求10所述的一種MEMS麥克風陣列結構，其特征在于，所述陣列支架包括陣列主梁(9)和中心圓盤(12)，所述陣列主梁(9)設置有多根，多根所述陣列主梁(9)沿中心圓盤(12)周向分布。

12.根據權利要求11所述的一種MEMS麥克風陣列結構，其特征在于，相鄰的兩根所述陣列主梁(9)之間設置有支撐梁(11)。

13.根據權利要求12所述的一種MEMS麥克風陣列結構，其特征在于，所述陣列主梁(9)上設置有用以安裝MEMS麥克風防護結構(10)的防護結構安裝孔。

14.根據權利要求13所述的一種MEMS麥克風陣列結構，其特征在于，所述中心圓盤(12)上對應每個所述陣列主梁(9)設置有一個用以安裝MEMS麥克風防護結構(10)的防護結構安裝孔。

15.根據權利要求14所述的一種MEMS麥克風陣列結構，其特征在于，所述支撐梁(11)的一端對應第一根所述陣列主梁(9)上的第二個防護結構安裝孔，另一端對應相鄰的第二根所述陣列主梁(9)上的第三個防護結構安裝孔，依次類推完成所述支撐梁(11)的設置。