[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于改善軸承橡膠密封圈耐磨損性能的表面處理方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111528455.7
• 申請(qǐng)日: 2021-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114231924A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧喬元;李世洋;楊濤;文峰;林新凱
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 海南大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35;C23C14/20;C23C14/06;C23C14/54;C23C16/26;C23C28/00
• 代理公司: 重慶宏知億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 50260
• 代理人: 余義麗

1.一種用于改善軸承橡膠密封圈耐磨損性能的表面處理方法，其特征在于：包括如下步驟：

S1：將橡膠密封圈進(jìn)行超聲清洗后置于真空室中，真空室的氣壓降至3×10^-3Pa以上后通入氬氣，輝光放電形成等離子體對(duì)濺射靶材進(jìn)行清洗，所述濺射靶材包括含Cu、Mo中一種或兩種金屬元素且具有催化潤(rùn)滑油分子降解產(chǎn)生類(lèi)石墨碳潤(rùn)滑層功能的第一濺射靶材、以及由石墨或純鈦及其Ti基構(gòu)成的第二濺射靶材；

S2：在橡膠密封圈通過(guò)S1的處理后，向真空室內(nèi)通入氣體并調(diào)節(jié)氣壓至0.5～5.0Pa，在橡膠密封圈上施加-10～-200V的偏壓，然后開(kāi)啟濺射電源，將所述第一濺射靶材濺射至橡膠密封圈表面，其平均功率為0W/cm²～3W/cm²，再將第二濺射靶材濺射至橡膠密封圈表面，其平均功率為1W/cm²～10W/cm²，在橡膠密封件表面沉積含Cu、Mo中一種或兩種金屬元素的薄膜材料，所述薄膜材料中Cu或Mo元素物質(zhì)的量占比為1％～10％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于改善軸承橡膠密封圈耐磨損性能的表面處理方法，其特征在于：所述第一濺射靶包括含Cu、Mo中一種或兩種金屬元素的純金屬或合金靶。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于改善軸承橡膠密封圈耐磨損性能的表面處理方法，其特征在于：所述第二濺射靶材采用純石墨靶、純Ti或含一種或多種元素的高熵合金靶材。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于改善軸承橡膠密封圈耐磨損性能的表面處理方法，其特征在于：所述氣體采用純氬氣或氬氣與碳源、氮源氣體的混合氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于改善軸承橡膠密封圈耐磨損性能的表面處理方法，其特征在于：所述混合氣體為Ar/C₂H₂、Ar/CH₄、Ar/N₂中的一種或多種的組合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于改善軸承橡膠密封圈耐磨損性能的表面處理方法，其特征在于：所述橡膠密封圈材質(zhì)采用丁腈橡膠、硅橡膠或氟橡膠。