[發(fā)明專(zhuān)利]一種減少蒸發(fā)鍍層的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202111520689.7 | 申請(qǐng)日： | 2021-12-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN114485166A | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳景暉;雷孝呂;杜全國(guó);王秦超;吳棟;宋彥明;姚力軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 寧波創(chuàng)潤(rùn)新材料有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | F27B14/06 | 分類(lèi)號(hào)： | F27B14/06;F27B14/10;F27B14/16;C22B9/22;C23C18/31 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 郎祺 |
| 地址： | 315460 浙*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 減少 蒸發(fā) 鍍層 真空 電子束 冷床 熔煉爐 系統(tǒng) | ||
1.一種減少蒸發(fā)鍍層的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，包括熔煉單元、真空抽氣單元和抽蒸發(fā)料單元；所述熔煉單元包括EB爐體(6)，所述EB爐體中設(shè)置有鑄造坩堝(1)和水平坩堝(2)；
所述真空抽氣單元包括擴(kuò)散泵(4)，所述EB爐體(6)與擴(kuò)散泵(4)通過(guò)真空抽氣管道(5)連通；
所述抽蒸發(fā)料單元包括沉粉腔(3)和擴(kuò)散泵(4)，所述EB爐體(6)與所述擴(kuò)散泵(4)通過(guò)蒸發(fā)料抽除管道(7)連通，所述蒸發(fā)料抽除管道(7)的入口設(shè)置在所述水平坩堝(2)的上方；所述蒸發(fā)料抽除管道(7)包括多段，相鄰段的軸心方向不同，相鄰段的連接處的底部設(shè)置有所述沉粉腔(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，所述蒸發(fā)料抽除管道(7)分兩段設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，所述蒸發(fā)料抽除管道(7)包括第一管道和第二管道，所述第一管道和第二管道的軸心方向垂直，所述第一管道和第二管道的連接部位的底部設(shè)置有所述沉粉腔(3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，所述蒸發(fā)料抽除管道(7)的入口設(shè)有格柵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，所述擴(kuò)散泵(4)的工作壓力為1～1×10-6pa。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，所述沉粉腔(3)可拆除地設(shè)置在相鄰段的連接處的底部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，在所述EB爐體(6)遠(yuǎn)離所述鑄造坩堝(1)的一端的外表面上，設(shè)有抽真空口與所述真空抽氣管道(5)連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電子束冷床熔煉爐系統(tǒng)，其特征在于，在所述EB爐體(6)位于所述水平坩堝(2)上方，設(shè)有蒸發(fā)料抽除口與所述蒸發(fā)料抽除管道(7)連通。
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