[發明專利]顯示面板、陣列基板、光刻膠及其制備方法

在審

• 申請號: 202111510540.0
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN114460807A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 王輝;田尚益;崔承鎮;廖輝華;宋智輝;姜慶;李榮榮
• 申請（專利權）人: 長沙惠科光電有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G02F1/1333
• 代理公司: 深圳市隆天聯鼎知識產權代理有限公司 44232
• 代理人: 王榮

顯示面板、陣列基板、光刻膠及其制備方法。本發明提供了一種液晶顯示面板的光刻工藝，光刻膠及其制備方法。光刻膠以丙烯酸類聚合物為主體，并在主體上引入官能團?(CH₂)n?Ph?(COOH)m，從而降低了曝光時間，提升了生產效率。

技術領域

本發明涉及電子顯示技術領域，具體而言，涉及一種顯示面板、陣列基板、光刻膠及其制備方法。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，簡稱為TFT-LCD)因其顯示尺寸大、節能環保、高清晰度、輕薄等優勢成為市場上主流的平板顯示設備。

TFT-LCD的光刻工藝是指在待加工的基板上涂覆光刻膠，再經曝光、顯影等過程，將掩模版的微細圖形轉移至基板表面，然后進行刻蝕、剝離等工藝加工，在基板表面得到高精度圖形。但是，目前的光刻工藝中，曝光能量太大，導致曝光時間太長，生產效率較低，使單一設備的產能無法滿足日益增長的市場需求。

需要說明的是，上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解。

發明內容

本發明的目的在于提供一種顯影能力較高的光刻膠及其制備方法，以及具有該光刻膠的陣列基板，具有該陣列基板的顯示面板。

本發明的其他特性和優點將通過下面的詳細描述變得顯然，或部分地通過本公開的實踐而習得。

根據本發明的一個方面，提供一種光刻膠，所述光刻膠的結構式為：

其中，Ph表示苯基，m的值為0～5，且-COOH可以取代苯基上的任意位置上的H，n的值為1～6。

在本發明的一些實施例中，所述m為2，所述n為1時，-CH₂-Ph-(COOH)₂的結構式為：

在本發明的一些實施例中，所述m為1，所述n為1時，所述-CH₂-Ph-COOH 的結構式為：

在本發明的一些實施例中，所述光刻膠通過丙烯酸類聚合物和Br(CH₂) n-Ph-(COOH)m反應制得。

在本發明的一些實施例中，所述丙烯酸類聚合物和所述Br(CH₂)n-Ph- (COOH)m的摩爾之比為1：(1.05～1.3)。

在本發明的一些實施例中，所述丙烯酸類聚合物和所述Br(CH₂)n-Ph- (COOH)m的摩爾之比為1：1.1。

根據本發明的一個方面，提供一種光刻膠的制備方法，包括以下步驟：

依據摩爾之比1：(1.05～1.3)稱取丙烯酸類聚合物和Br(CH₂)n-Ph- (COOH)m并混合均勻得到混合物；其中，Ph表示苯基，m的值為0～5，且-COOH可以取代苯基上的任意位置上的H；

依據摩爾之比為氫氧化鈉：所述混合物為1：(15～20)稱取氫氧化鈉，并調節pH為10～11，得到反應物；

將上述反應物在N₂環境下120℃～180℃下加熱回流18～30h，反應完全后得粗產物；

以體積比為1:3的乙酸乙酯和石油醚為溶劑，對上述粗產物進行重結晶并過濾，將過濾所得到的液體干燥即得光刻膠。

在本發明的一些實施例中，所述丙烯酸類聚合物和所述Br(CH₂)n-Ph- (COOH)m的摩爾之比為1:1.1。