[發(fā)明專利]一種異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)

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• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN115910932A
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢鋒;劉濤
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇柒捌玖電子科技有限公司
• 主分類號: H01L23/04
• 分類號: H01L23/04;H01L23/32;H01L29/778
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本發(fā)明屬于HEMT器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)，現(xiàn)提出如下方案，包括電路板、壓緊球、器件主體、轉(zhuǎn)動(dòng)彎板和抵接塊，所述電路板的頂端固定連接有防護(hù)板，所述防護(hù)板的內(nèi)壁固定連接有帶動(dòng)所述壓緊球與所述器件主體頂端緊密貼合的工作彈簧，所述壓緊球與工作彈簧的連接部位固定連接有升降孔板，所述升降孔板的一端開設(shè)有用于帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)彎板豎直旋轉(zhuǎn)的升降孔槽，本發(fā)明通過設(shè)置抵接塊，工作彈簧工作帶動(dòng)壓緊球與器件主體的頂端相貼合，與此同時(shí)，工作彈簧工作通過升降孔板帶動(dòng)兩組升降孔槽同步升降，以使得升降孔槽運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)彎板轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)彎板通過伸縮孔槽帶動(dòng)抵接塊與器件主體側(cè)壁相貼合，實(shí)現(xiàn)對器件主體的限位操作。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及HEMT器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

HEMT，高電子遷移率晶體管。這是一種異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管，又稱為調(diào)制摻雜場效應(yīng)晶體管、二維電子氣場效應(yīng)晶體管、選擇摻雜異質(zhì)結(jié)晶體管等，這種器件及其集成電路都能夠工作于超高頻、超高速領(lǐng)域，原因就在于它是利用具有很高遷移率的所謂二維電子氣來工作的，HEMT是電壓控制器件，HEMT的基本結(jié)構(gòu)就是一個(gè)調(diào)制摻雜異質(zhì)結(jié)，高遷移率的二維電子氣存在于調(diào)制摻雜的異質(zhì)結(jié)中，這種二維電子氣不僅遷移率很高，而且在極低溫度下也不“凍結(jié)”，則HEMT有很好的低溫性能，可用于低溫研究工作中。

但是，現(xiàn)有的異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)在使用時(shí)出現(xiàn)未對HEMT器件進(jìn)行防護(hù)的問題，導(dǎo)致HEMT器件使用時(shí)容易因?yàn)榭呐鰧?dǎo)致HEMT器件受損，影響HEMT器件的工作性能，以及現(xiàn)有的異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)在使用時(shí)出現(xiàn)HEMT器件容易發(fā)生偏移的問題，導(dǎo)致HEMT器件接觸不良，不能滿足人們的需求，為此需要一種異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提出的一種異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的未對HEMT器件進(jìn)行防護(hù)和HEMT器件容易發(fā)生偏移的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

一種異構(gòu)集成HEMT器件結(jié)構(gòu)，包括電路板、壓緊球、器件主體、轉(zhuǎn)動(dòng)彎板和抵接塊，所述電路板的頂端固定連接有防護(hù)板，所述防護(hù)板的內(nèi)壁固定連接有帶動(dòng)所述壓緊球與所述器件主體頂端緊密貼合的工作彈簧，所述壓緊球與工作彈簧的連接部位固定連接有升降孔板，所述升降孔板的一端開設(shè)有用于帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)彎板豎直旋轉(zhuǎn)的升降孔槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)彎板的外壁設(shè)置有用于帶動(dòng)所述抵接塊與器件主體側(cè)壁緊密貼合的伸縮孔槽，所述電路板的上方位于防護(hù)板的外壁開設(shè)有通風(fēng)口。

優(yōu)選的，所述電路板的外壁貫穿有撥動(dòng)桿，且撥動(dòng)桿的一端位于電路板的下方固定連接有與電路板底端滑動(dòng)連接的工作孔板，所述工作孔板的側(cè)壁與電路板的連接部位設(shè)置有夾緊彈簧，所述工作孔板的內(nèi)壁活動(dòng)連接有伸縮導(dǎo)柱，且伸縮導(dǎo)柱與工作孔板的連接部位開設(shè)有伸縮斜槽，所述伸縮導(dǎo)柱的一端固定連接有與電路板底端滑動(dòng)連接的夾緊推桿，且夾緊推桿遠(yuǎn)離伸縮導(dǎo)柱的一端延伸至電路板的上方固定連接有與防護(hù)板外壁相抵接的夾緊抵板，所述夾緊抵板與夾緊抵板的連接部位設(shè)置有抵接底板。

優(yōu)選的，所述壓緊球通過工作彈簧與器件主體之間構(gòu)成升降結(jié)構(gòu)，且器件主體與壓緊球的連接部位設(shè)置有限位凹槽。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)彎板設(shè)置有兩組，且兩組轉(zhuǎn)動(dòng)彎板的位置分布關(guān)于升降孔板相對稱，所述轉(zhuǎn)動(dòng)彎板通過升降孔板和升降孔槽與防護(hù)板之間構(gòu)成旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述抵接塊通過轉(zhuǎn)動(dòng)彎板和伸縮孔槽與器件主體之間構(gòu)成伸縮結(jié)構(gòu)，且轉(zhuǎn)動(dòng)彎板的彎曲角度為90°。

優(yōu)選的，所述伸縮斜槽設(shè)置有兩組，且兩組伸縮斜槽的位置關(guān)系關(guān)于撥動(dòng)桿相對稱。

優(yōu)選的，所述夾緊推桿通過工作孔板和伸縮斜槽與防護(hù)板之間構(gòu)成伸縮結(jié)構(gòu)，且伸縮斜槽的傾斜角度為45°。

本發(fā)明中，