[發明專利]一種升降式光刻機及其加工方法

在審

• 申請號: 202111503137.5
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN114047675A
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發明（設計）人: 王華;甘泉
• 申請（專利權）人: 廣東科視光學技術股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所(普通合伙) 44231
• 代理人: 成偉

1.一種升降式光刻機，其特征在于，包括基座、雙龍門、光學機構、對位機構和工作臺機構，所述雙龍門連接于所述基座頂側，所述光學機構和對位機構均連接于所述雙龍門上，所述工作臺機構連接于所述基座上，并設于所述對位機構的下方；

所述光學機構包括光刻鏡頭，所述光刻鏡頭和鏡頭移動板，所述光刻鏡頭連接于所述鏡頭移動板上，所述鏡頭移動板連接于所述雙龍門上；

所述對位機構包括對位相機，所述對位相機設于所述工作臺機構上方，并與所述雙龍門連接；

所述工作臺機構包括上工作臺和下工作臺，所述上工作臺和所述下工作臺均可在所述基座上移動，所述上工作臺上設有上斜塊升降機構；所述下工作臺上設有下斜塊升降機構。

2.根據權利要求1所述的一種升降式光刻機，其特征在于，所述基座上設有移動模組，所述上工作臺和所述下工作臺可在所述移動模組上移動。

3.根據權利要求1所述的一種升降式光刻機，其特征在于，所述光刻鏡頭的數量為1、4、5、6、7、8或12個，所述雙龍門上連接有滑軌，所述鏡頭移動板可滑動地連接于滑軌上，所述光刻鏡頭連接于所述鏡頭移動板上；每個光刻鏡頭對應一個光路，在工件上形成一個成像區域。

4.根據權利要求1所述的一種升降式光刻機，其特征在于，所述對位相機設有兩個，所述對位相機側面連接有相機移動板，所述相機移動板側面連接有導軌，所述相機移動板可滑動地連接于所述導軌上，所述導軌固定于所述雙龍門上。

5.根據權利要求1所述的一種升降式光刻機，其特征在于，所述對位機構還包括工作臺校對相機和龍門校對相機，所述工作臺校對相機設有兩個，均連接于工作臺機構的側面；所述龍門校對相機設有兩個，一個連接于鏡頭移動板一端，另一個連接于鏡頭移動板另一端。

6.根據權利要求1所述的一種升降式光刻機，其特征在于，所述上工作臺完成光刻加工后，移動到起點位置；所述下工作臺完成光刻加工后，通過下斜塊升降機構垂直降低臺面，并移動到起點位置；所述上工作臺與所述下工作臺相遇時，所述上工作臺的臺面高度高于所述下工作臺的臺面高度。

7.根據權利要求1所述的一種升降式光刻機，其特征在于，所述下斜塊升降機構的升降幅度大于所述上斜塊升降機構。

8.根據權利要求1-7任一所述雙龍門斜塊升降式光刻機的加工方法，其特征在于，將PCB放置于上工作臺，所述上工作臺移動至對位相機下方，并對PCB進行對位加工，兩個對位相機對PCB抓取靶標進行標定，對位加工后，移動至光刻鏡頭下方，并往復移動對PCB進行光刻加工，光刻鏡頭在PCB上形成成像區域，光刻加工后，上工作臺移動到起點位置；所述上工作臺移動至對位相機下方時，將另一個PCB放置于下工作臺，所述下工作臺移動至對位相機下方，并通過下斜塊升降機構垂直升高臺面，此時，上工作臺移動至起點位置，不會干涉，對位相機對PCB進行對位加工，兩個對位相機對PCB抓取靶標進行標定，對位加工后，移動至光刻鏡頭下方，并往返移動對PCB進行光刻加工，光刻鏡頭在PCB上形成成像區域，光刻加工后，下工作臺通過下斜塊升降機構垂直降低臺面，并移動到起點位置。