[發明專利]一種新型腳控多功能氮氣吹掃裝置

在審

• 申請號: 202111495980.3
• 申請日: 2021-12-08
• 公開（公告）號: CN114130759A
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 張語哲;彭斌;李煒;徐穎
• 申請（專利權）人: 中電科技集團重慶聲光電有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B13/00
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務所 50215
• 代理人: 盧勝斌

本發明提出了一種新型腳控多功能氮氣吹掃裝置，該裝置包括：斷路器、直流開關、第一電磁閥、第二電磁閥、氮氣腳踏開關、真空腳踏開關、高壓氮氣接口、真空接口、氮氣快速接頭、真空快速接頭、氮氣吹掃槍頭和真空槍頭；斷路器與直流開關連接，直流開關分別與氮氣腳踏開關、真空腳踏開關、第一電磁閥和第二電磁閥連接；第一電磁閥還與氮氣腳踏開關、高壓氮氣接口和氮氣快速接頭連接，第二電磁閥還與真空腳踏開關、真空接口和真空快速接頭連接；氮氣吹掃槍頭與氮氣快速接頭連接，真空槍頭與真空快速接頭連接；本發明避免了使用鑷子對元器件夾取不當造成的損壞，吹掃操作效率更高，提高了元器件可靠性以及成片率，具有較好的經濟效益。

技術領域

本發明屬于半導體領域，具體涉及一種新型腳控多功能氮氣吹掃裝置。

背景技術

半導體領域的光刻工藝中，雖然光刻前的每一步操作(氧化、摻雜等)都是在清潔區域完成的，但芯片表面有可能吸附一些顆粒狀的污染物，大幅度降低可靠性。為確保光刻膠和晶圓表面能很好粘結，必須對表面進行微粒清除，使用高壓氮氣吹掃便是常用的微粒清除方法。

傳統的操作通常是由氮氣槍連接氮氣源，工藝人員單手手持氮氣吹掃槍，另一只手用鑷子夾住芯片進行吹掃。這導致人體將長時間維持一個姿勢，浪費人力，效率較低。同時，采用鑷子夾取元器件邊緣容易造成焊盤位的破壞，造成二次損傷，降低可靠性。

發明內容

為了解決現有技術問題，本發明提供了一種新型腳控多功能氮氣吹掃裝置；該裝置包括：斷路器1、直流開關2、第一電磁閥3、第二電磁閥4、氮氣腳踏開關5、真空腳踏開關6、高壓氮氣接口7、真空接口8、氮氣快速接頭9、真空快速接頭10、氮氣吹掃槍頭11和真空槍頭12；斷路器1與直流開關2連接，直流開關2分別與氮氣腳踏開關5、真空腳踏開關6、第一電磁閥3和第二電磁閥4連接；第一電磁閥3還與氮氣腳踏開關5、高壓氮氣接口7和氮氣快速接頭9連接，第二電磁閥4還與真空腳踏開關6、真空接口8和真空快速接頭10連接；氮氣吹掃槍頭11與氮氣快速接頭9連接，真空槍頭12與真空快速接頭10連接。

優選的，直流開關2包括24V+接線端和24V-接線端，24V+接線端分別與氮氣腳踏開關5和真空腳踏開關6連接，24V-接線端分別與第一電磁閥3和第二電磁閥4連接。

進一步的，第一電磁閥3和第二電磁閥4均設置有正極接口和負極接口；其中，第一電磁閥3的負極接口連接24V-接線端，正極接口連接氮氣腳踏開關5；第二電磁閥4的負極接口連接24V-接線端，正極接口連接真空腳踏開關6。

進一步的，氮氣腳踏開關5包括第一連接端口和第二連接端口，第一連接端口與24V+接線端連接，第二連接端口與第一電磁閥3正極接口連接。

進一步的，真空腳踏開關6包括第三連接端口和第四連接端口，第三連接端口與24V+接線端連接，第四連接端口與第二電磁閥4正極接口連接。

優選的，斷路器1上設置有電源接口。

優選的，氮氣吹掃槍頭11和真空槍頭12上均設置有調節閥。

優選的，新型腳控多功能氮氣吹掃裝置還包括箱體，箱體用于保護內部器件。

進一步的，箱體上設置有接線通孔。

本發明的有益效果為：本發明采用腳踏開關作為氮氣吹掃的開關，使得控制氮氣吹掃與真空吸附的通斷更容易便捷，使工藝人員可以單手進行吹掃操作，節省體力，提高工藝效率；通過設置調壓閥實現強度可調節的氮氣吹掃槍頭和真空槍頭，本發明靈活性大，同時避免了使用鑷子對元器件夾取不當造成的損壞，吹掃操作效率更高，同時，提高了元器件可靠性以及成片率，具有較好的經濟效益。

附圖說明

附圖用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本發明的實施例一起用于解釋本發明，并不構成對本發明的限制。

圖1為本發明中腳控多功能氮氣吹掃裝置接線示意圖；