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[發明專利]一種磨削主軸坐標測量方法在審

專利信息
申請號: 202111495308.4 申請日: 2021-12-09
公開(公告)號: CN114211328A 公開(公告)日: 2022-03-22
發明(設計)人: 梁猛;林海濤;趙凱;李彬;陸俊 申請(專利權)人: 技感半導體設備(南通)有限公司
主分類號: B24B7/22 分類號: B24B7/22;B24B47/22;B24B49/04;B24B51/00
代理公司: 上海遠同律師事務所 31307 代理人: 丁利華
地址: 226000 江蘇省南通市開發區蘇通科技產業園江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 磨削 主軸 坐標 測量方法
【權利要求書】:

1.一種磨削主軸坐標測量方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟a:獲得磨削主軸的基準Z軸坐標;

步驟b:當磨削主軸回到待機位置時用檢測傳感器獲得金剛石砂輪的位置數據;

步驟c:根據步驟a中獲得的磨削主軸的基準Z軸坐標數據與步驟b中獲得的金剛石砂輪的位置數據,獲得兩者的差值數據;

步驟d:當特定情況下需要獲得磨削主軸的當前Z軸坐標時,用所述檢測傳感器測量當前金剛石砂輪的位置,獲得金剛石砂輪的當前位置數據;以及

步驟e:根據步驟d中獲得的金剛石砂輪的當前位置數據與步驟c中獲得的差值數據,獲得磨削主軸的當前Z軸坐標。

2.根據權利要求1所述的磨削主軸坐標測量方法,其特征在于,步驟a中通過手動方式利用標準塊規獲得磨削主軸的基準Z軸坐標。

3.根據權利要求2所述的磨削主軸坐標測量方法,其特征在于,所述基準Z軸坐標為磨削主軸上的金剛石砂輪牙齒下緣與真空吸盤臺面之間的距離值,以所述真空吸盤臺面為Z軸原點。

4.根據權利要求3所述的磨削主軸坐標測量方法,其特征在于,步驟b中所述金剛石砂輪的位置數據為金剛石砂輪牙齒下緣與所述真空吸盤臺面之間的距離值。

5.根據權利要求4所述的磨削主軸坐標測量方法,其特征在于,步驟d中所述特定情況為無法補正金剛石砂輪相對于真空吸盤臺面的坐標值時的情況。

6.根據權利要求5所述的磨削主軸坐標測量方法,其特征在于,步驟e中所述金剛石砂輪的當前位置數據為金剛石砂輪牙齒下緣與所述真空吸盤臺面之間的距離值。

7.根據權利要求6所述的磨削主軸坐標測量方法,其特征在于,步驟e中所述金剛石砂輪的當前位置數據減去所述差值數據,即為所述磨削主軸的當前Z軸坐標。

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