[發(fā)明專利]有機錫-無機錫雜化Sn18

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111488915.8
• 申請日: 2021-12-07
• 公開（公告）號: CN114167685A
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張獻明;田秀娟;郁有祝
• 申請（專利權(quán)）人: 山西師范大學
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 成都其高專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 51244
• 代理人: 廖曾

1.一種有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物，包括如下三個化合物，其特征在于：

化合物1：分子式為[(BuSn)₁₂Sn₆(μ₃-O)₂₀(PhCO₂)₁₂(PhPO₃)₄]，晶體學數(shù)據(jù)為α＝90°,β＝94.0540(10)°,γ＝90°,Z＝4，單斜晶系，P2₁/c空間群；

化合物2：分子式為[(BuSn)₁₂Sn₆(μ₃-O)₂₀(4-MePhCO₂)₁₂(PhPO₃)₄]·2CH₃CN·2H₂O，晶體學數(shù)據(jù)為α＝76.2874(13)°,β＝88.5702(11)°,γ＝62.2587(15)°,Z＝2，三斜晶系，P-1空間群；

化合物3：分子式為[(BuSn)₁₂Sn₆(μ₃-O)₂₀(4-t-BuPhCO₂)₁₂(PhPO₃)₄]·2CH₃CN·2iPrOH·2H₂O，晶體學數(shù)據(jù)為α＝82.1576(12)°,β＝80.6499(11)°,γ＝67.7108(11)°,Z＝2，三斜晶系，P-1空間群。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物，其特征在于：晶體結(jié)構(gòu)中十八個Sn^IV離子中有6個全氧配位無機Sn^IV離子和有機12個帶有丁基Sn^IV離子；6個錫離子通過橋聯(lián)氧原子構(gòu)筑了Sn₆O₈核；1個苯基膦酸酯構(gòu)筑了{Sn₃}亞基，4個{Sn₃}亞基首尾相連形成U型{Sn₁₂}環(huán)；Sn₆O₈核作為核心，通過μ₃-O和苯甲酸酯配體橋接{Sn₁₂}環(huán)形成Sn₁₈氧簇；Sn₁₈氧簇被外層苯甲酸、對甲基苯甲酸或?qū)κ宥』郊姿嵊袡C配體和苯基膦酸酯保護。

3.如權(quán)利要求1所述有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物的制備方法，其特征在于，包括如下操作：

A、將取代苯甲酸、苯基膦酸、SnCl₄·5H₂O、丁基錫酸及乙腈、水、異丙醇混合溶液加入水熱反應(yīng)釜中，在90-100℃下反應(yīng)；

B、將步驟A反應(yīng)后混合溶液過濾，得到無色塊狀晶體；乙腈洗滌、過濾，室溫干燥，得到有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物的制備方法，其特征在于：取代苯甲酸選自苯甲酸、對甲基苯甲酸或?qū)κ宥』郊姿帷?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物的制備方法，其特征在于：取代苯甲酸、苯基膦酸、SnCl₄·5H₂O與丁基錫酸摩爾比為3-7:0.3-0.7:0.05-0.5:0.5-2。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物的制備方法，其特征在于：反應(yīng)時間為2-5天。

7.如權(quán)利要求1所述有機錫-無機錫雜化Sn₁₈型晶態(tài)錫氧簇合物在EUV光刻技術(shù)中光刻膠制備中的應(yīng)用。