[發(fā)明專(zhuān)利]一種單晶硅棒自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202111487008.1 | 申請(qǐng)日: | 2021-12-07 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN114018944A | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-02-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 潘坤;郭右利 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 大連耐視科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G01N21/95 | 分類(lèi)號(hào): | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司: | 大連大工智訊專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21244 | 代理人: | 崔雪 |
| 地址: | 116000 遼寧省大連市高新技*** | 國(guó)省代碼: | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 單晶硅 自動(dòng)檢測(cè) 系統(tǒng) 檢測(cè) 方法 | ||
本發(fā)明涉及視覺(jué)圖像分析技術(shù)領(lǐng)域,提供一種單晶硅棒自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法,所述系統(tǒng)包括:高精度移動(dòng)模組、采集系統(tǒng)、視覺(jué)控制器、可編程控制器和移動(dòng)滑臺(tái);所述高精度移動(dòng)模組沿待檢測(cè)的硅棒的長(zhǎng)度方向布置,所述高精度移動(dòng)模組上滑動(dòng)設(shè)置移動(dòng)滑臺(tái);所述高精度移動(dòng)模組外接可編程控制器;所述移動(dòng)滑臺(tái)上安裝有采集系統(tǒng);所述采集系統(tǒng)外接視覺(jué)控制器;所述采集系統(tǒng),包括:采集系統(tǒng)安裝板、晶線(xiàn)檢測(cè)單元和硅棒尺寸檢測(cè)單元;所述采集系統(tǒng)安裝板豎直設(shè)置在移動(dòng)滑臺(tái)上,所述采集系統(tǒng)安裝板上開(kāi)設(shè)用于使硅棒通過(guò)的開(kāi)口;所述采集系統(tǒng)安裝板上設(shè)置晶線(xiàn)檢測(cè)單元和硅棒尺寸檢測(cè)單元。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)硅棒的自動(dòng)化檢測(cè),提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及視覺(jué)圖像分析技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種單晶硅棒自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法。
背景技術(shù)
在光伏領(lǐng)域的硅棒完成拉制之后,硅棒的長(zhǎng)度通常為1-7米,工人需要根據(jù)其幾何尺寸以及晶線(xiàn)的狀態(tài)進(jìn)行分段劃分,分段數(shù)據(jù)需要被提供給切斷機(jī)使用,以便對(duì)硅棒進(jìn)行切斷處理。
截止到當(dāng)前,光伏行業(yè)內(nèi)都是通過(guò)人工使用卷尺和卡尺等工具,對(duì)硅棒進(jìn)行長(zhǎng)度和直徑的測(cè)量,再進(jìn)行分段劃分,效率極其低下,測(cè)量誤差較大,且直徑測(cè)量只能取幾個(gè)點(diǎn)進(jìn)行,無(wú)法做到全長(zhǎng)度范圍內(nèi)的測(cè)量。
同時(shí),硅棒表面的四條晶線(xiàn)特征不明顯,無(wú)法用一種自動(dòng)檢測(cè)的方法來(lái)有效檢測(cè),人工肉眼加上卷尺檢測(cè)的方式很容易產(chǎn)生較大的測(cè)量誤差,導(dǎo)致硅棒切斷長(zhǎng)度不合適甚至導(dǎo)致廢料,嚴(yán)重影響實(shí)際生產(chǎn),生產(chǎn)效率較低、成本也較高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要解決現(xiàn)有技術(shù)的硅棒檢測(cè)通過(guò)人工使用卷尺和卡尺等工具,對(duì)硅棒進(jìn)行長(zhǎng)度和直徑的測(cè)量,再進(jìn)行分段劃分,效率極其低下,測(cè)量誤差較大等技術(shù)問(wèn)題,提出一種單晶硅棒自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法,以實(shí)現(xiàn)硅棒的自動(dòng)化檢測(cè),提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本和誤差。
本發(fā)明提供了一種單晶硅棒自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng),包括:高精度移動(dòng)模組1、采集系統(tǒng)3、視覺(jué)控制器4、可編程控制器5和移動(dòng)滑臺(tái)6;
所述高精度移動(dòng)模組1沿待檢測(cè)的硅棒11的長(zhǎng)度方向布置,所述高精度移動(dòng)模組1上滑動(dòng)設(shè)置移動(dòng)滑臺(tái)6;所述高精度移動(dòng)模組1外接可編程控制器5;
所述移動(dòng)滑臺(tái)6上安裝有采集系統(tǒng)3;所述采集系統(tǒng)3外接視覺(jué)控制器4;
所述采集系統(tǒng)3,包括:采集系統(tǒng)安裝板、晶線(xiàn)檢測(cè)單元和硅棒尺寸檢測(cè)單元;
所述采集系統(tǒng)安裝板豎直設(shè)置在移動(dòng)滑臺(tái)6上,所述采集系統(tǒng)安裝板上開(kāi)設(shè)用于使硅棒11通過(guò)的開(kāi)口;
所述采集系統(tǒng)安裝板上設(shè)置晶線(xiàn)檢測(cè)單元和硅棒尺寸檢測(cè)單元;
所述晶線(xiàn)檢測(cè)單元,包括:多組第一工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)7和第一光源8;多組第一工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)7和第一光源8依次設(shè)置在開(kāi)口的上方,并使第一工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)7和第一光源8均朝向開(kāi)口;
所述硅棒尺寸檢測(cè)單元,包括:第一尺寸檢測(cè)結(jié)構(gòu)和/或第二尺寸檢測(cè)結(jié)構(gòu);
所述第一尺寸檢測(cè)結(jié)構(gòu),包括:第二光源10和兩個(gè)第二工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)9;所述第二光源10設(shè)置在開(kāi)口的一側(cè),兩個(gè)第二工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)9對(duì)應(yīng)設(shè)置在開(kāi)口的另一側(cè);兩個(gè)第二工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)9上下對(duì)應(yīng)設(shè)置;
所述第二尺寸檢測(cè)結(jié)構(gòu),包括:至少一組激光測(cè)徑儀發(fā)射器13和激光測(cè)徑儀接收器14;所述激光測(cè)徑儀發(fā)射器13設(shè)置在開(kāi)口的一側(cè),所述激光測(cè)徑儀接收器14設(shè)置在開(kāi)口的另一側(cè)。
優(yōu)選的,所述移動(dòng)滑臺(tái)6上通過(guò)支撐立柱2安裝有采集系統(tǒng)3。
優(yōu)選的,所述第一工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)7通過(guò)相機(jī)支架安裝在采集系統(tǒng)安裝板上,且第一工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)7與采集系統(tǒng)安裝板非平行;
每個(gè)第一工業(yè)線(xiàn)陣相機(jī)7的鏡頭高出對(duì)應(yīng)的第一光源8。
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- 專(zhuān)利分類(lèi)
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見(jiàn)光或紫外光來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測(cè)試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測(cè)試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測(cè)試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長(zhǎng)發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測(cè)試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專(zhuān)用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
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