[發明專利]激光誘導非晶碳表面微納復合結構及周邊缺陷修復方法

在審

• 申請號: 202111486919.2
• 申請日: 2021-12-07
• 公開（公告）號: CN114147363A
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發明（設計）人: 黃虎;王超;張洪洋;張帝;劉翰林
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: B23K26/352
• 分類號: B23K26/352;B23K26/082;B23K26/14;B23K26/70
• 代理公司: 長春市恒譽專利代理事務所(普通合伙) 22212
• 代理人: 李榮武

1.一種激光誘導非晶碳表面微納復合結構及周邊缺陷修復方法，其特征在于：所述方法為在空氣或者保護氣體中，利用納秒激光對非晶碳表面進行處理，通過計算機軟件控制激光加工參數及掃描軌跡，可以在非晶碳表面制備不同類型的線狀微納復合結構；在前步加工的基礎上，選擇激光修復參數及策略，利用納秒激光對其表面進行輻照，可以有效地修復激光加工后非晶碳樣品表面的納米顆粒及孔洞等缺陷，并保持已制備微納復合結構的完整性；其中，所制備的線狀微納復合結構包括微米級溝槽結構和納米級光柵結構，內部的納米級光柵結構始終平行于激光掃描方向，并且所制備的線狀微納復合結構可以通過降低激光功率同時提高掃描次數的方式提高其均勻性。

2.根據權利要求1所述的一種激光誘導非晶碳表面微納復合結構及周邊缺陷修復方法，其特征在于，所述的保護氣體包括但不僅限于氮氣和氬氣。

3.根據權利要求1所述的一種激光誘導非晶碳表面微納復合結構及周邊缺陷修復方法，其特征在于，所述的激光加工參數為：激光脈沖寬度為7ns，激光功率為1.5W-3.0W，激光重復頻率為400-900kHz，激光掃描速度為5-50mm/s，激光掃描次數為1-15次。

4.根據權利要求1所述的一種激光誘導非晶碳表面微納復合結構及周邊缺陷修復方法，其特征在于，所制備的線狀微納復合結構的圖案類型包括直線、六邊形、曲線、螺旋線、圓等。

5.根據權利要求1所述的一種激光誘導非晶碳表面微納復合結構及周邊缺陷修復方法，其特征在于，所述的激光修復參數為：激光脈沖寬度為7ns，激光功率為0.5-1.5W，激光重復頻率為400-900kHz，激光掃描速度為5-50mm/s，激光掃描間距為5-50μm。