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[發明專利]一種高效率聚焦的梯形Kinoform透鏡的設計方法在審

專利信息
申請號: 202111484279.1 申請日: 2021-12-07
公開(公告)號: CN114236814A 公開(公告)日: 2022-03-25
發明(設計)人: 童徐杰;陳宜方 申請(專利權)人: 復旦大學
主分類號: G02B27/00 分類號: G02B27/00
代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200 代理人: 陸飛;陸尤
地址: 200433 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 高效率 聚焦 梯形 kinoform 透鏡 設計 方法
【權利要求書】:

1.一種高效率聚焦的梯形Kinoform透鏡的設計方法,其特征在于,具體步驟如下:

(1)設定入射光場以及梯形Kinoform透鏡參數;其中:

入射光場參數包括波長λ、振幅C;

把梯形Kinoform透鏡中每個周期的梯形形貌劃分為三個計算區域:(Ⅰ)透光區,(Ⅱ)過渡區,(Ⅲ)平面區;

光學元件參數包括:光學元件結構參數m和n,0≤m,n≤0.5,分別描述透光區和平面區在單周期中的占比;厚度t;光學元件所用材料的折射率n0=(1-δ)-iβ;(1-δ)、β分別表示折射率的實部和虛部;所述的光學元件參數用于計算透鏡中的相移Φ;

根據分區畫出Φ-θ示圖,θ是在一個周期內到焦斑的光程長度差;Φ0 =2πtδ/λ是厚度為t的透鏡的最大相移;

(2)計算透鏡中單個周期每個分區的相移函數Φ(θ):

(Ⅰ)透光區:Φ(θ)=0,0θ≤2mπ, (1)

(Ⅱ)過渡區:,2mπθ≤2(1-n)π,(2)

(Ⅲ)平面區:Φ(θ)=Φ0,2(1-n)πθ≤2π, (3)

(3)根據薄光柵近似公式求振幅之和:

一階幅度總和A1由以下等式給出:

,(4)

(4)計算效率:

,(5)

式(4)中, j表示虛數單位;

(5)根據不同的結構參數m、n,重復以上的計算,畫出結構參數關于厚度的效率圖,找到效率較高的梯形結構對應的參數m和n。

2.根據權利要求1的設計方法,其特征在于,所述入射光為X射線或紫外線。

3.根據權利要求1的設計方法,其特征在于,所述透鏡的每個周期的截面梯形形貌為直角梯形形貌,由參數定量描述。

4.根據權利要求1的設計方法,其特征在于,所述梯形透鏡對應的結構參數m、n、厚度t介于波帶片和Kinoform之間。

5.根據權利要求4的設計方法,其特征在于,所述梯形透鏡的結構參數:m在0.1~0.25之間,n在0~0.25之間,存在較高的聚焦效率。

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