[發明專利]AFM探針測量方法、裝置、控制設備及存儲介質

有效

• 申請號: 202111476926.4
• 申請日: 2021-12-02
• 公開（公告）號: CN114236181B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發明（設計）人: 韓志國;李鎖印;鄒學峰;張曉東;趙琳;吳愛華;許曉青
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 彭競馳

本發明提供一種AFM探針測量方法、裝置、控制設備及存儲介質。該方法包括：利用AFM探針掃描待測線條，得到待測線條的待測曲線；以待測曲線的頂點為中心，確定待測線條的左側待測曲線和右側待測曲線；以AFM的橫向分辨率為步進，分別求解待測線條的左側AFM探針曲線和右側AFM探針曲線，并根據左側待測曲線、右側待測曲線、左側AFM探針曲線和右側AFM探針曲線，得到待測線條的真實輪廓。本發明能夠提高AFM探針測量的準確性。

技術領域

本發明涉及AFM探針技術領域，尤其涉及一種AFM探針測量方法、裝置、控制設備及存儲介質。

背景技術

原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)是一種具有原子分辨率的表面形貌、電磁性能分析的重要儀器。由于AFM探針不可能無限尖銳，會使得測量的圖像會包含一部分AFM探針信息，會導致圖像失真。由于圖像失真，會導致AFM測量線條寬度時，會出現較大的測量偏差。

現有技術會根據AFM廠家提供的探針參數對測量結果進行補償。然而，多次使用的AFM探針會出現磨損，其實際探針參數與廠家提供的探針參數不一致，最終導致AFM測量結果會出現較大測量偏差，不能滿足AFM探針的正常使用。

發明內容

本發明實施例提供了一種AFM探針測量方法、裝置、控制設備及存儲介質，以解決現有技術會導致AFM測量結果會出現較大測量偏差，不能滿足AFM探針的正常使用的問題。

第一方面，本發明實施例提供了一種AFM探針測量方法，包括：

利用AFM探針掃描待測線條，得到待測線條的待測曲線；

以待測曲線的頂點為中心，確定待測線條的左側待測曲線和右側待測曲線；

以AFM的橫向分辨率為步進，根據預先確定的AFM探針左側關系式和左側待測曲線的坐標集確定待測線條的左側AFM探針曲線；

以AFM的橫向分辨率為步進，根據預先確定的AFM探針右側關系式和右側待測曲線的坐標集確定待測線條的右側AFM探針曲線；

根據左側待測曲線、右側待測曲線、左側AFM探針曲線和右側AFM探針曲線，得到待測線條的真實輪廓。

在一種可能的實現方式中，以AFM的橫向分辨率為步進，根據預先確定的AFM探針左側關系式和左側待測曲線的坐標集確定待測線條的左側AFM探針曲線，包括：

以AFM的橫向分辨率為步進值，將預先確定的AFM探針左側關系式中的橫坐標進行步進；

針對每一次步進，將左側待測曲線的坐標集中的所有橫坐標輸入步進后的AFM探針左側關系式，得到對應的左側步進坐標集；計算左側步進坐標集中的縱坐標和對應左側待測坐標集中的縱坐標的差值平方和，并將該差值平方和作為該次步進的左側平方和；

根據所有步進的左側平方和確定待測線條的左側AFM探針曲線。

在一種可能的實現方式中，根據所有步進的左側平方和確定待測線條的左側AFM探針曲線，包括：

確定所有步進的左側平方和中最小值；

將左側待測曲線的坐標集中的坐標輸入該最小值對應的步進后的AFM探針左側關系式，得到待測線條的左側AFM探針曲線。

在一種可能的實現方式中，以AFM的橫向分辨率為步進，根據預先確定的AFM探針右側關系式和右側待測曲線的坐標集確定待測線條的右側AFM探針曲線，包括：

以AFM的橫向分辨率為步進值，將預先確定的AFM探針右側關系式中的橫坐標進行步進；