[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體濕法刻蝕系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111467512.5
• 申請(qǐng)日: 2021-12-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114284172A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁莉萍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 丁莉萍
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種半導(dǎo)體濕法刻蝕系統(tǒng)，包括機(jī)殼（10），其特征在于：所述機(jī)殼（10）內(nèi)設(shè)有平移腔（15），所述平移腔（15）下端壁固定連接有左右對(duì)稱的兩個(gè)放置塊（11），所述放置塊（11）能夠豎直放置晶圓，所述平移腔（15）左端壁內(nèi)設(shè)有動(dòng)力腔（14），所述動(dòng)力腔（14）前后端壁內(nèi)對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)傳動(dòng)帶腔（82），所述平移腔（15）下端壁內(nèi)設(shè)有兩個(gè)左右對(duì)稱的轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18），所述轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18）下端壁內(nèi)設(shè)有與所述轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18）連通的接觸輪腔（29），所述接觸輪腔（29）右端壁內(nèi)設(shè)有從動(dòng)輪腔（31），兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18）下端壁內(nèi)設(shè)有電機(jī)腔（36），所述電機(jī)腔（36）設(shè)有兩個(gè)左右對(duì)稱設(shè)的皮帶腔（39），所述電機(jī)腔（36）左端壁內(nèi)設(shè)有液壓腔（44），所述機(jī)殼（10）內(nèi)設(shè)有運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（88）、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（89）、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（87），所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（88）能夠?qū)⒕A豎直的放入轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18）內(nèi)，方便刻蝕，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（89）能夠使晶圓豎直方向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（87）能夠?yàn)樾D(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（89）提供動(dòng)力；

所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（88）包括所述動(dòng)力腔（14）左端壁固定連接的移動(dòng)電機(jī)（13），所述移動(dòng)電機(jī)（13）動(dòng)力連接有動(dòng)力軸（16），所述動(dòng)力軸（16）固定連接有動(dòng)力輪（12），所述傳動(dòng)帶腔（82）左端壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有另一端與所述平移腔（15）右端壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接的平移軸（17），所述平移軸（17）固定連接有位于所述傳動(dòng)帶腔（82）內(nèi)的傳動(dòng)帶輪（81），兩個(gè)所述傳動(dòng)帶輪（81）與所述動(dòng)力輪（12）之間連接設(shè)有傳動(dòng)帶（80），所述平移腔（15）內(nèi)滑動(dòng)連接有升降塊（67），所述升降塊（67）內(nèi)設(shè)有傳動(dòng)腔（74），所述傳動(dòng)腔（74）右端壁內(nèi)設(shè)有凸輪腔（84）、橢圓輪腔（73），所述傳動(dòng)腔（74）左端壁固定連接有動(dòng)力電機(jī)（77），所述動(dòng)力電機(jī)（77）動(dòng)力連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸（70），所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸（70）固定連接有不完全齒輪（76），所述傳動(dòng)腔（74）左端壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有一端位于所述凸輪腔（84）內(nèi)的拉繩輪（78），所述拉繩輪（78）固定連接有位于所述傳動(dòng)腔（74）內(nèi)的第二嚙合輪（79），所述第二嚙合輪（79）能夠與所述不完全齒輪（76）嚙合，所述拉繩輪（78）固定連接有位于所述凸輪腔（84）內(nèi)的凸輪（83），所述凸輪腔（84）內(nèi)滑動(dòng)連接有前后對(duì)稱的兩個(gè)拉繩板（69），所述拉繩板（69）與所述凸輪腔（84）端壁連接設(shè)有拉繩彈簧（68），所述傳動(dòng)腔（74）左端壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有一端位于所述橢圓輪腔（73）內(nèi)的液壓軸（71），所述液壓軸（71）固定連接有位于所述傳動(dòng)腔（74）內(nèi)的的第一嚙合輪（75），所述第一嚙合輪（75）并能夠與所述不完全齒輪（76）嚙合，所述液壓軸（71）固定連接有位于所述橢圓輪腔（73）內(nèi)的的橢圓輪（72），所述橢圓輪腔（73）內(nèi)滑動(dòng)連接有前后對(duì)稱的兩個(gè)推液板（85），所述推液板（85）與所述橢圓輪腔（73）端壁之間連接有液壓彈簧（57），所述升降塊（67）內(nèi)前后對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)存液腔（56），所述存液腔（56）與所述橢圓輪腔（73）連通，兩個(gè)所述存液腔（56）下端壁內(nèi)設(shè)有左右兩端和下端開(kāi)口的夾緊腔（86），所述存液腔（56）內(nèi)滑動(dòng)連接有一端位于所述夾緊腔（86）內(nèi)的推力板（59），所述推力板（59）固定位于所述夾緊腔（86）內(nèi)的支撐塊（58），所述夾緊腔（86）前后端壁滑動(dòng)連接有平移塊（55），兩個(gè)所述平移軸（17）與所述平移塊（55）螺紋連接，所述平移塊（55）與所述夾緊腔（86）上端壁之間連接設(shè)有前后對(duì)稱的兩個(gè)推力彈簧（66），所述支撐塊（58）與所述平移塊（55）接觸，所述升降塊（67）下端固定連接有前后對(duì)稱的兩個(gè)鉸接軸（60），所述鉸接軸（60）轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)上下對(duì)稱的鉸接桿（61），兩個(gè)所述鉸接桿（61）之間連接設(shè)有夾緊彈簧（63），兩組上下對(duì)稱的兩個(gè)鉸接桿（61）與所述拉繩板（69）之間連接設(shè)有夾緊拉繩（64），所述鉸接桿（61）轉(zhuǎn)動(dòng)連接有夾緊輪（62），四組所述夾緊輪（62）能夠夾緊晶圓，防止晶圓掉落。

2.據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體濕法刻蝕系統(tǒng)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（89）包括所述轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18）下端壁內(nèi)設(shè)有的左右對(duì)稱的兩個(gè)升降腔（28），所述升降腔（28）與所述液壓腔（44）連通，所述升降腔（28）內(nèi)滑動(dòng)連接有升降板（23），所述升降板（23）與所述升降腔（28）下端壁連接設(shè)有升降彈簧（24），所述升降板（23）固定連接有一端位于所述轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18）內(nèi)的升降桿（22），所述升降桿（22）位于所述轉(zhuǎn)動(dòng)腔（18）內(nèi)的一端內(nèi)設(shè)有頂塊腔（33），所述頂塊腔（33）靠經(jīng)對(duì)稱中心一側(cè)端壁固定連接有上下對(duì)稱的兩個(gè)第一電磁鐵（32）。