[發明專利]多孔質玻璃母材的制造方法及制造裝置在審
| 申請號： | 202111462967.8 | 申請日： | 2021-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN114620934A | 公開（公告）日： | 2022-06-14 |
| 發明（設計）人： | 野田直人 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | C03B37/014 | 分類號： | C03B37/014;C03B19/14;C03B8/04 |
| 代理公司： | 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀鋒 |
| 地址： | 日本東京都千*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多孔 玻璃 制造 方法 裝置 | ||
1.一種玻璃母材的制造方法，將作為原料的液體狀態的有機硅氧烷與載氣在氣化器內混合，通過加熱使之氣化后作為氣體原料供給到燃燒器，使通過所述氣體原料的燃燒而產生的玻璃微粒子沉積在起始材料上，由此制造多孔質玻璃母材，將其燒結，該制造方法中
使導入到所述氣化器的載氣中的水分濃度為3volppm以下。
2.根據權利要求1所述的玻璃母材的制造方法，其中使導入到所述氣化器的載氣中的水分濃度為1volppm以下。
3.根據權利要求1所述的玻璃母材的制造方法，其中使導入到所述氣化器的載氣中的水分濃度為0.1volppm以下。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中所述加熱是利用經過預熱的所述載氣而進行的。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中所述加熱是利用從經過加熱器加熱的所述氣化器的內壁產生的熱而進行的。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中使用氮氣、氬氣、氦氣等惰性氣體作為所述載氣。
7.根據權利要求1至5中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中使用氧氣或氧氣與惰性氣體的混合氣體作為所述載氣。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中利用水分去除機構降低所述載氣中的水分濃度。
9.根據權利要求8所述的玻璃母材的制造方法，其中所述水分去除機構并列設置著多個，切換使用。
10.根據權利要求8或9所述的玻璃母材的制造方法，其中對于通過所述水分去除機構降低了水分濃度的所述載氣，一邊測量氣體中的露點，一邊將其供給到所述氣化器。
11.根據權利要求1至10中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中所述載氣以預熱到200～300℃的狀態供給到所述氣化器。
12.根據權利要求1至11中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中所述有機硅氧烷為八甲基環四硅氧烷。
13.根據權利要求1至12中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中使包含所述有機硅氧烷的原料液中的水分濃度為20wtppm以下。
14.根據權利要求1至13中任一項所述的玻璃母材的制造方法，其中利用另一水分去除機構降低包含所述有機硅氧烷的原料液中的水分濃度。
15.一種多孔質玻璃母材的制造裝置，將作為原料的液體狀態的有機硅氧烷與載氣在氣化器內混合，通過加熱使之氣化后作為氣體原料供給到燃燒器，使通過所述氣體原料的燃燒而產生的玻璃微粒子沉積在起始材料上，由此制造多孔質玻璃母材，該制造裝置中
具備將所述載氣中的水分去除后將載氣供給到所述氣化器的水分去除機構。
16.根據權利要求15所述的多孔質玻璃母材的制造裝置，其中所述載氣的水分去除機構并列地設置多個。
17.根據權利要求15或16所述的多孔質玻璃母材的制造裝置，其還具備露點計，該露點計測量通過所述水分去除機構去除了水分的所述載氣的露點。
18.根據權利要求15至17中任一項所述的多孔質玻璃母材的制造裝置，其還具備將供給到所述氣化器的所述載氣預熱的加熱機構。
19.根據權利要求15至18中任一項所述的多孔質玻璃母材的制造裝置，其中所述有機硅氧烷為八甲基環四硅氧烷。
20.根據權利要求15至19中任一項所述的多孔質玻璃母材的制造裝置，其具備將包含所述有機硅氧烷的原料液中的水分去除后將所述原料液供給到所述氣化器的另一水分去除機構。
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