[發(fā)明專利]一種光刻機機架焊接用的防偏移裝置及防偏移方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111459914.0 | 申請日： | 2021-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN114043050A | 公開（公告）日： | 2022-02-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 何平;胡志華 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州航菱微精密組件有限公司 |
| 主分類號： | B23K9/32 | 分類號： | B23K9/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 光刻 機架 焊接 偏移 裝置 方法 | ||
本發(fā)明提供了一種光刻機機架焊接用的防偏移裝置及防偏移方法，包括加持組件，加持組件包括第一U形板、U形桿、移動板、第一彈簧、第一電動伸縮桿、連接桿、滾珠、方桿、夾板。第一電動伸縮桿帶動移動板在U形桿上滑動，移動板通過連接桿帶動滾珠移動，滾珠與傾斜面接觸并擠壓，兩個梯形塊向相互靠近的方向移動，梯形塊帶動夾板在方桿上滑動，夾板與材料接觸并將其固定，便于對不同規(guī)格的機架進行固定。旋鈕通過螺桿帶動移動塊在定位桿移動，移動塊帶動第一U形板移動，第一U形板通過夾板帶動材料移動，通過開關(guān)組啟動第二電動伸縮桿，第二電動伸縮桿帶動第三電動伸縮桿移動，第三電動伸縮桿帶動電焊機移動，便于調(diào)節(jié)進行焊接，不會出現(xiàn)偏移的現(xiàn)象。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及光刻機機架焊接設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光刻機機架焊接用的防偏移裝置及防偏移方法。
背景技術(shù)
光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上；
光刻機機架在生產(chǎn)時需要使用到焊接裝置，但是傳統(tǒng)的焊接裝置在焊接過程中大都容易出現(xiàn)偏移的現(xiàn)象，不便于工作人員使用生產(chǎn)，降低工作效率，同時傳統(tǒng)的焊接裝置大都不便于對不同規(guī)格的機架材料進行固定焊接，為此，提出一種光刻機機架焊接用的防偏移裝置及防偏移方法。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明實施例希望提供一種光刻機機架焊接用的防偏移裝置及防偏移方法，以解決或緩解現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，至少提供一種有益的選擇。
本發(fā)明實施例的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：一種光刻機機架焊接用的防偏移裝置，包括加持組件，所述加持組件包括第一U形板、U形桿、移動板、第一彈簧、第一電動伸縮桿、連接桿、滾珠、方桿、夾板；
所述第一U形板設(shè)為兩個，所述第一U形板的兩側(cè)內(nèi)壁上均固定安裝有U形桿，所述U形桿上滑動連接有移動板，所述移動板的一側(cè)與對應(yīng)的U形桿的一側(cè)內(nèi)壁之間固定安裝有第一彈簧，所述第一彈簧活動套設(shè)在對應(yīng)的U形桿的外側(cè)，所述第一U形板的一側(cè)內(nèi)壁上固定安裝有第一電動伸縮桿，所述第一電動伸縮桿的輸出端與對應(yīng)的移動板的一側(cè)固定連接，所述移動板的一側(cè)固定安裝有兩個連接桿，所述連接桿的端部嵌裝有滾珠，所述第一U形板的兩側(cè)內(nèi)壁之間固定安裝有方桿，所述方桿上滑動連接有兩個夾板。
進一步優(yōu)選的，所述夾板的一側(cè)與對應(yīng)的第一U形板的一側(cè)內(nèi)壁之間固定安裝有第二彈簧，所述第二彈簧活動套設(shè)在對應(yīng)的方桿的外側(cè)，第二彈簧的設(shè)置，起到了復(fù)位的作用。
進一步優(yōu)選的，所述夾板的一側(cè)固定安裝有梯形塊，所述梯形塊的一側(cè)設(shè)為傾斜面，所述滾珠與傾斜面滾動接觸，滾珠的設(shè)置，減小了摩擦力。
進一步優(yōu)選的，所述加持組件的一側(cè)設(shè)有調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件包括第二U形板、凹槽、螺桿、移動塊、旋鈕；
所述第二U形板的上表面開設(shè)有凹槽，所述凹槽的兩側(cè)內(nèi)壁之間轉(zhuǎn)動安裝有螺桿，所述螺桿上螺紋連接有移動塊，所述螺桿的端部延伸至第二U形板外并固定安裝有旋鈕。
進一步優(yōu)選的，所述凹槽的兩側(cè)內(nèi)壁之間固定安裝有定位桿，所述定位桿與移動塊滑動連接，所述第二U形板的上表面固定安裝有固定塊，定位桿的設(shè)置，起到了定位的作用。
進一步優(yōu)選的，所述移動塊的上表面與左側(cè)的第一U形板的下表面固定連接，所述固定塊的上表面與右側(cè)的第一U形板的下表面固定連接，固定塊的設(shè)置，起到了固定的作用。
進一步優(yōu)選的，所述第二U形板的上表面固定安裝有L形板，所述L形板的一側(cè)內(nèi)壁上固定安裝有連接板，連接板的設(shè)置，起到了連接的作用。
進一步優(yōu)選的，所述連接板的一側(cè)固定安裝有第二電動伸縮桿，所述第二電動伸縮桿的輸出端固定安裝有第三電動伸縮桿，所述第三電動伸縮桿的輸出端固定安裝有電焊機，第二電動伸縮桿的設(shè)置，起到了自動化作用。
本發(fā)明提供了一種光刻機機架焊接用的防偏移方法，包括以下步驟：
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