[發明專利]一種大型平面靶材和背板的粘接方法

無效

• 申請號: 201210166249.0
• 申請日: 2012-05-26
• 公開（公告）號: CN102699519A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 王廣欣;鐘小亮;豆帆
• 申請（專利權）人: 煙臺希爾德新材料有限公司
• 主分類號: B23K20/14
• 分類號: B23K20/14;B23K20/24
• 代理公司: 煙臺雙聯專利事務所(普通合伙) 37225
• 代理人: 梁翠榮

1.一種大型平面靶材和背板的粘接方法，其特征在于：包括如下依次進行的四個步驟：

Ⅰ、粘接前處理：對靶材（3）和背板（1）的表面進行磨加工處理，讓表面的粗糙度達到0.32μm至0.8μm；然后在粘接面鍍上若干層過渡材料；所述過渡材料是指熱膨脹系數介于靶材（3）和背板（1）之間的金屬；

Ⅱ、預涂焊料：將背板（1）和靶材（3）加熱至溫度高于焊料的液相線以上10～50℃，然后將焊料涂覆在背板（1）和靶材（3）粘接面的表面形成均勻的焊料薄層；之后，在任一粘接面上再涂覆一層魚骨形的焊料（4）或者放置一塊魚骨形的焊料預制件（4）；

Ⅲ、粘接：將靶材（3）和背板（1）上下放置，兩粘接面接觸；放置穩妥并定位后，在垂直平板方向施加10～100MPa的壓力，然后在常壓或者真空爐內加熱；

所述加熱條件為：常壓加熱時，直接在加熱平臺上加熱至溫度高于焊料液相線10～50℃以上；真空爐內加熱時，將靶材和背板放進真空爐內，抽真空至10Pa，然后加熱至焊料熔化；

Ⅳ、粘接后處理：清理靶材和背板的非粘接面并將背板非粘接面磨光，監測靶材粘接率；

所述的魚骨形焊料或者魚骨形焊料預制件是指：該焊料或焊料預制件具有一條位于中心位置且與靶材（3）或背板（1）的粘接面等長的縱向焊料，縱向焊料的兩側是走向與縱向焊料走向相垂直的若干條橫向焊料，相鄰橫向焊料間具有間隙，且兩側橫向焊料的總寬度與靶材（3）或背板（1）粘接面等寬。

2.如權利要求1所述的大型平面靶材和背板的粘接方法，其特征在于：所述的靶材為下述材料中的一種：W、Mo、WTi、MoNb、SiCr、Cr、TiAl、SiAl、NiCrSi、Ta₂O₅、MgF₂、Al₂O₃、TiO₂、LiCoO₂；所述的背板為下述材料中的一種：紫銅背板、鋁合金背板、不銹鋼背板、鉬背板；所述的焊料為下述材料中的一種：銦、錫銅、鋅錫、錫銀、錫銀銅、鋁、銀。