[發明專利]晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手

有效

• 申請號: 202111449498.6
• 申請日: 2021-12-01
• 公開（公告）號: CN114267610B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 華斌;李文軒;蔡超;王大權
• 申請（專利權）人: 智程半導體設備科技（昆山）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州企航知識產權代理事務所(普通合伙) 32354
• 代理人: 朱丹

1.一種晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手，其特征在于：包括固定在升降軸上的旋動組件、旋轉桿、軸承定位座、緩沖組件和取放晶圓片花籃的夾持組件，以及用于監測夾持組件與旋轉桿發生松動偏轉的報警閃光燈和觸動傳感片，所述觸動傳感片呈U型，包括兩側的定位片和中間的撥片，所述定位片與鎖緊螺母固連，所述撥片與報警閃光燈的微動開關對應配合，

所述旋動組件包括頂推氣缸、斜面滑塊、左右對稱布置的旋轉座、銷軸、滾動圓球，以及復位拉簧，所述頂推氣缸的頂推桿與斜面滑塊后端面固連，帶動斜面滑塊做前后滑移動作，所述斜面滑塊下端還固連有滑塊滑軌組件，所述旋轉座與兩側對稱布置的旋轉桿固連，所述銷軸與旋轉座內側面固連，銷軸前端設置有滾動圓球，所述滾動圓球與斜面滑塊上端設有的傾斜面相切滾動配合，所述復位拉簧通過連接銷與兩側的旋轉座連接，帶動旋轉座保持預緊力，

所述旋轉桿兩端均與軸承定位座配合定位，旋轉桿一端與旋動組件固連，另一端通過緩沖組件與夾爪連接，

所述緩沖組件包括內棘輪、外棘輪和緩沖橡膠，所述內棘輪內壁設置有螺紋，所述外棘輪外壁設置有鎖止片，內棘輪與旋轉桿螺接固連，外棘輪與夾持組件由鎖止片通過螺釘螺接固連，所述緩沖橡膠填充在內棘輪和外棘輪之間，

所述夾持組件包括鎖緊塊、緊固螺母、夾持臂和夾桿，所述鎖緊塊以兩塊拼接夾持旋轉桿的方式鎖緊旋轉桿，并通過螺釘鎖緊，所述緊固螺母與外棘輪固連，所述緊固螺母外部設置有螺紋段，并與鎖緊塊內壁設置的螺紋孔螺接配合，以進一步將旋轉桿與鎖緊塊加力固連，所述緊固螺母外部還固連有觸動傳感片，所述觸動傳感片與固定在鎖緊塊外側的報警閃光燈配合，以監測夾爪與旋轉桿發生松動偏轉的位移量，當夾爪松動時會帶動緊固螺母偏轉，進而帶動觸動傳感片偏轉，而觸動傳感片撥動報警閃光燈的微動開關而點亮，實施發光報警。

2.根據權利要求1所述的晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手，其特征在于：所述夾持臂與鎖緊塊下部固連，所述夾持臂與呈U型的夾桿螺接固連，所述夾持臂兩側設置有延伸孔。

3.根據權利要求2所述的晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手，其特征在于：所述延伸孔外側還螺接有鎖緊螺母。

4.根據權利要求1所述的晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手，其特征在于：所述晶圓片花籃呈方盒狀，兩側設置有與夾桿配合的夾持槽，內部兩側對稱設置有若干個格擋，所述格擋之間放置有待清洗的晶圓片。

5.根據權利要求1所述的晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手，其特征在于：所述內棘輪外壁和外棘輪內壁均設置有棘齒，以充分均勻地咬合緩沖橡膠，保持內棘輪與外棘輪軸線重合且徑向受力均勻。

6.根據權利要求1所述的晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手，其特征在于：所述軸承定位座與旋轉桿之間設置有軸承。

7.根據權利要求1所述的晶圓片花籃夾取防脫落且帶報警功能的機械手，其特征在于：所述升降軸與自動化設備設有的升降氣缸或電動絲桿副配合實現升降動作。