[發明專利]石英音叉壓力傳感器在審
| 申請號： | 202111433981.5 | 申請日： | 2021-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN114199418A | 公開（公告）日： | 2022-03-18 |
| 發明（設計）人： | 褚偉航;裴志強;陶碩;劉旭強;張琳琳 | 申請（專利權）人： | 北京晨晶電子有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/10 | 分類號： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 么立雙 |
| 地址： | 100020*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英 音叉 壓力傳感器 | ||
1.一種石英音叉壓力傳感器，其特征在于，包括：
殼體，所述殼體內為真空環境；
框架，所述框架連接在所述殼體的內部；
諧振音叉組件，所述諧振音叉組件包括音叉主體和音叉驅動裝置，所述音叉主體與所述框架為一體結構，所述音叉驅動裝置與所述音叉主體連接，用于驅動所述音叉主體振動；
Q值檢測電極，所述Q值檢測電極與所述音叉驅動裝置電連接，用于檢測音叉Q值；
所述音叉主體與所述框架均為石英材質且切型相同。
2.根據權利要求1所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述框架包括主框體和貫穿所述主框體的通槽，所述音叉主體位于所述通槽內。
3.根據權利要求2所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述音叉主體包括：
基部，所述基部與所述主框架通過連接梁連接為一體結構，所述連接梁設置在所述主框架位于所述通槽的底部的位置與所述基部的底部之間；
兩個叉指，兩個所述叉指平行設置且均設置在所述基部的頂部，兩個所述叉指之間以及兩個所述叉指與所述通槽的內側面之間均留有供所述叉指振動的空間。
4.根據權利要求3所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述連接梁的寬度為S1，所述音叉主體的厚度為H，其中H/3≤S1≤2H/3。
5.根據權利要求3所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述叉指沿寬度方向的外側面與所述通槽沿寬度方向且靠近所述叉指的內側面之間設置有夾角，且所述叉指遠離所述基部的一端距所述通槽的內側面之間的距離大于所述叉指靠近所述基部的一端距所述通槽的內側面之間的距離。
6.根據權利要求5所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述叉指的長度為S2，所述叉指的振動幅值為S3，所述叉指沿寬度方向的外側面與所述通槽沿寬度方向的內側面之間的夾角為θ，其中θ＝arctan(S3/S2)。
7.根據權利要求3所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述框架還包括兩個蓋板，兩個所述蓋板分別覆蓋在所述通槽沿厚度方向的兩側，所述蓋板與所述通槽對應的一側設置有凹槽。
8.根據權利要求7所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述叉指靠近所述蓋板的一側與所述蓋板之間的間隙為S4，其中，5μm≤S4≤50μm。
9.根據權利要求7所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，每個所述蓋板與所述主框體之間設置有至少兩個對準標記。
10.根據權利要求1所述的石英音叉壓力傳感器，其特征在于，所述音叉驅動裝置為音叉驅動電極。
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