[發明專利]微機電陀螺儀和補償微機電陀螺儀中的輸出熱漂移的方法

在審

• 申請號: 202111424200.6
• 申請日: 2021-11-26
• 公開（公告）號: CN114563013A
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: L·奎利諾尼;L·G·法羅尼
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G01C25/00
• 分類號: G01C25/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 黃海鳴

1.一種微機電陀螺儀，包括：

支撐結構；

感測質量塊，其以沿驅動方向以及感測方向的自由度耦合到所述支撐結構，所述驅動方向與所述感測方向彼此垂直；

校準結構，其面向所述感測質量塊、并且通過具有平均寬度的間隙與所述感測質量塊間隔開，所述校準結構相對于所述感測質量塊可移動，使得所述校準結構的位移引起所述間隙的所述平均寬度的變化；以及

校準致動器，其被配置為控制所述校準結構相對于所述感測質量塊的相對位置和所述間隙的所述平均寬度。

2.根據權利要求1所述的陀螺儀，其中所述校準致動器包括：校準電極，所述校準電極被布置在所述支撐結構上并且被電容耦合到所述校準結構；以及偏置源，耦合到所述校準電極。

3.根據權利要求2所述的陀螺儀，其中：

所述驅動方向平行于所述支撐結構的面，并且所述感測方向垂直于所述面并且垂直于所述驅動方向；并且

所述校準結構被連接到固定到所述支撐結構的支點部，并且所述校準結構圍繞平行于所述面且垂直于所述驅動方向和所述感測方向二者的支點軸線旋轉。

4.根據權利要求3所述的陀螺儀，其中：

所述校準結構包括校準板，所述校準板被耦合到所述支點部、并且具有關于所述支點部對置的第一部分和第二部分；并且

所述第一部分在所述感測質量塊與所述支撐結構相對的一側上面向所述感測質量塊，并且通過所述間隙與所述感測質量塊間隔開。

5.根據權利要求4所述的陀螺儀，其中所述校準結構包括：耦合質量塊，所述耦合質量塊被剛性接合到所述校準板的所述第二部分并且被電容耦合到所述校準電極。

6.根據權利要求3所述的陀螺儀，包括：至少一個感測電極，所述至少一個感測電極被布置在所述支撐結構的所述面上、并且面向所述感測質量塊并且被電容耦合到所述感測質量塊，以及其中所述感測質量塊沿著所述感測方向被布置在所述感測電極與所述校準結構之間。

7.根據權利要求2所述的陀螺儀，其中所述驅動方向和所述感測方向二者均平行于所述支撐結構的面。

8.根據權利要求7所述的陀螺儀，其中所述校準結構具有第一側，所述第一側面向所述感測質量塊的一側并且通過所述間隙與所述感測質量塊分離，并且其中所述校準電極面向所述校準結構的第二側，所述第二側與所述第一側相對。

9.根據權利要求7所述的陀螺儀，其中所述校準結構沿所述感測方向相對于所述感測質量塊可移動。

10.根據權利要求7所述的陀螺儀，包括：至少一個感測電極，所述至少一個感測電極固定到所述支撐結構，并且其中所述感測質量塊是框架狀的，并且所述感測電極被電容耦合到所述感測質量塊的相應側。

11.根據權利要求10所述的陀螺儀，其中所述感測電極被布置在所述感測質量塊內部。

12.根據權利要求7所述的陀螺儀，包括：驅動質量塊，所述驅動質量塊沿所述驅動方向相對于所述支撐結構可移動，并且其中所述感測質量塊受限于所述驅動質量塊，以在所述驅動方向上由所述驅動質量塊拖動并且沿著所述感測方向相對于所述驅動質量塊可移動。

13.根據權利要求1所述的陀螺儀，包括：蓋體，所述蓋體以氣密方式接合到所述支撐結構，以在所述蓋體與所述支撐結構之間形成氣密閉合的室，并且其中所述感測質量塊和所述校準結構被容納在所述室內。

14.一種方法，包括：

補償微機電陀螺儀中的輸出熱漂移，

包括：

將所述微機電陀螺儀的校準結構布置為面向所述感測質量塊并且通過具有平均寬度的間隙與所述感測質量塊間隔開；

移動所述校準結構來改變所述間隙的所述平均寬度。