[發明專利]一種量子點層制備方法以及發光器件的制備方法

在審

• 申請號: 202111424007.2
• 申請日: 2021-11-26
• 公開（公告）號: CN114122276A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 姜茂成
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 吳雪

1.一種量子點層制備方法，其特征在于，包括：

在基板上形成量子點層，所述量子點層中的量子點具有第一配體；

依次通過曝光、顯影工藝對所述量子點層進行圖形化，所述顯影工藝使用的顯影液包含活性分子，其中，所述活性分子與所述量子點的結合力大于所述第一配體與所述量子點的結合力，且所述活性分子在所述顯影液中的溶解度大于所述第一配體在所述顯影液中的溶解度。

2.根據權利要求1所述的量子點層制備方法，其特征在于，所述顯影工藝還包括：采用所述顯影液對所述量子點層進行顯影，以將目標區域內所述量子點的所述第一配體與所述活性分子進行配體交換，鍵合出以所述活性分子作為第二配體的量子點，所述量子點可溶解于所述顯影液。

3.根據所述權利要求2所述的量子點層制備方法，所述活性分子的極性與所述第一配體的極性相反。

4.根據權利要求1所述的量子點層制備方法，其特征在于，所述在基板上形成量子點層，所述量子點層中的量子點具有第一配體的步驟之后，所述方法還包括：

按照如下標準選擇活性分子，所述活性分子與所述量子點的結合力大于所述第一配體與所述量子點的結合力，且所述活性分子在所述顯影液中的溶解度大于所述第一配體在所述顯影液中的溶解度；

將所述活性分子與所述顯影液混合均勻。

5.根據權利要求1所述的量子點層制備方法，其特征在于，所述采用所述顯影液對所述量子點層進行顯影的步驟還包括：

將所述量子點層浸泡于所述顯影液中預設時長。

6.根據權利要求4所述的量子點層制備方法，其特征在于，所述活性分子占所述顯影液的質量分數為1-70％。

7.根據權利要求1所述的量子點層制備方法，其特征在于，所述第一配體和/或所述活性分子包括但不限于氧配位、氮配位、膦配位或硫配位。

8.根據權利要求7所述的量子點層制備方法，其特征在于，所述第一配體和/或所述活性分子包括但不限于油酸、油胺、吡咯或十二硫醇。

9.一種發光器件的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一個基板；

在所述基板上形成陽極；

在所述陽極上依次形成空穴注入層和空穴傳輸層；

在所述空穴傳輸層上采用如權利要求1-8中任一項所述的量子點制備方法依次制備出三種顏色的量子點層；

在所述量子點層上依次形成電子傳輸層和電子注入層；

在所述電子注入層上形成陰極。

10.根據權利要求9所述的發光器件的制備方法，其特征在于，在所述空穴傳輸層上依次制備出三種顏色的量子點層的步驟之前，所述方法還包括：在所述空穴傳輸層上形成電子阻擋層。

11.根據權利要求9所述的發光器件的制備方法，其特征在于，在所述量子點層上依次形成電子傳輸層和電子注入層之前，還包括：在所述量子點層上形成空穴阻擋層。