[發(fā)明專利]一種用于液相外延工藝中的母液測溫裝置及測溫方法

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• 申請日: 2021-11-26
• 公開（公告）號: CN114112089A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發(fā)明（設計）人: 張超;魏唯;程文進;陳李松;周光偉
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;G01K1/08;G01K1/14
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 廖元寶

1.一種用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，包括測溫機構(1)、升降機構(2)、固定機構(3)和密封機構(4)，所述測溫機構(1)通過所述固定機構(3)固定于所述升降機構(2)上，所述升降機構(2)位于外舟上；所述密封機構(4)密封套設于所述測溫機構(1)上，并與內舟(5)的支撐管(501)密封對接，以實現(xiàn)內舟(5)內部腔體的密封。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，所述測溫機構(1)包括測溫熱電偶(101)和測溫套管(102)，所述測溫熱電偶(101)吊設于所述測溫套管(102)內。

3.根據(jù)權利要求2所述的用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，所述密封機構(4)包括內套管(41)、外套管(42)和固定件(43)，所述固定件(43)緊固于內舟(5)的支撐管(501)上，所述內套管(41)套設于所述測溫套管(102)上，所述內套管(41)的一端設有與所述測溫套管(102)相適配的第一軸孔，所述內套管(41)的另一端設有與所述第一軸孔相連通的第二軸孔，所述第二軸孔的孔徑大于所述第一軸孔的孔徑，所述第二軸孔內設置有第一密封組件(44)，所述內套管(41)于第二軸孔一側的端部設有壓緊螺母(48)，所述壓緊螺母(48)與所述第二軸孔螺紋連接來壓緊第一密封組件(44)，以實現(xiàn)內套管(41)與測溫套管(102)之間的密封；

所述內套管(41)的一端與內舟(5)的支撐管(501)之間設置有第二密封組件(45)，所述外套管(42)套設于所述內套管(41)的外側，且內套管(41)的外側設置有臺階，所述外套管(42)的一端與臺階相抵，且外套管(42)和固定件(43)相連來壓緊第二密封組件(45)，以實現(xiàn)內套管(41)與支撐管(501)之間的密封。

4.根據(jù)權利要求3所述的用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，所述第一密封組件(44)包括多個第一密封圈(441)和密封環(huán)(442)，多個第一密封圈(441)與多個密封環(huán)(442)依次交錯布置；所述第二密封組件(45)包括第二密封圈(451)和密封墊(452)，所述密封墊(452)位于所述內套管(41)與支撐管(501)端部之間，所述第二密封圈(451)套設于所述支撐管(501)上且與內套管(41)的端部相抵。

5.根據(jù)權利要求3或4所述的用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，所述內套管(41)與外套管(42)上均設置有相互對接的加壓孔(47)，用于向所述內套管(41)與測溫套管(102)之間充入預設壓力的氣體進行正壓保持。

6.根據(jù)權利要求5所述的用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，所述內套管(41)與外套管(42)之間設置有一條或多條凹槽(471)以形成壓力腔體，各所述凹槽(471)的兩側均設置有第三密封圈(461)。

7.根據(jù)權利要求2～4中任意一項所述的用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，所述固定機構(3)包括固定卡環(huán)(301)、導向座(302)和固定螺帽(303)，所述導向座(302)與所述升降機構(2)相連，所述測溫套管(102)通過固定卡環(huán)(301)固定在導向座(302)內，所述測溫熱電偶(101)則通過固定螺帽(303)吊設于所述測溫套管(102)內。

8.根據(jù)權利要求1～4中任意一項所述的用于液相外延工藝中的母液測溫裝置，其特征在于，所述升降機構(2)包括直線電機模組。