[發明專利]版圖圖形的透過率賦值方法、裝置、設備和存儲介質

在審

• 申請號: 202111409312.4
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN114004194A
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 劉佳琦
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G06F30/398
• 分類號: G06F30/398;G06F30/392;G06F115/12
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 黎偉

1.一種版圖圖形的透過率賦值方法，其特征在于，包括：

對目標圖形的頂點構成的點陣進行剖分得到至少兩個三角形，所述目標圖形是所述版圖圖形中需要進行透過率賦值的圖形，所述三角形由三個所述頂點構成，任一三角形的外接圓的區域內不包含其它的頂點；

根據所述三角形的重心確定所述三角形中的第一類三角形和第二類三角形，所述第一類三角形是在所述目標圖形所在的區域內的三角形，所述第二類三角形是在所述目標圖形所在的區域外的三角形；

根據所述三角形所屬的類型對所述目標圖形進行透過率賦值。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述三角形的重心確定所述三角形中的第一類三角形和第二類三角形，包括：

對于任一重心，計算所述重心與每個所述頂點中任意兩個連續的頂點構成的矢量角度；

對所述矢量角度進行矢量求和，得到所述重心的矢量角度和；

當所述矢量角度和為零時，確定所述重心對應的三角形為所述第二類三角形。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，還包括：

當所述矢量角度和不為零時，確定所述重心對應的三角形為所述第一類三角形。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述對目標圖形的頂點構成的點陣進行剖分得到至少兩個三角形，包括：

對所述點陣通過Delaunay三角剖分算法進行所述剖分得到所述三角形。

5.根據權利要求1至4任一所述的方法，其特征在于，所述根據所述三角形所屬的類型對所述目標圖形進行透過率賦值，包括：

根據預設的精度生成所述目標圖形所在圖層的二維網格；

對所述第一類三角形所在的區域的網格進行透過率賦值；

對所述二維網格中其它區域的網格進行透過率賦值。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一類型三角形所在的區域中存在透過率不同的區域。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述其它區域的透過率相同。

8.一種版圖圖形的透過率賦值裝置，其特征在于，包括：

識別模塊，用于對目標圖形的頂點構成的點陣進行剖分得到至少兩個三角形，所述目標圖形是所述版圖圖形中需要進行透過率賦值的圖形，所述三角形由三個所述頂點構成，任一三角形的外接圓的區域內不包含其它的頂點；根據所述三角形的重心確定所述三角形中的第一類三角形和第二類三角形，所述第一類三角形是在所述目標圖形所在的區域內的三角形，所述第二類三角形是在所述目標圖形所在的區域外的三角形；

賦值模塊，用于根據所述三角形所屬的類型對所述目標圖形進行透過率賦值。

9.一種計算機設備，其特征在于，包括處理器和存儲器，所述存儲器中存儲有至少一條指令或程序，所述指令或程序由所述處理器加載并執行以實現如權利要求1至7中任一所述的版圖圖形的透過率賦值方法。

10.一種計算機可讀存儲介質，其特征在于，所述存儲介質中存儲有至少一條指令，所述指令由處理器加載并執行以實現如權利要求1至7中任一所述的版圖圖形的透過率賦值方法。